Формирование пленок дисульфида молибдена для электроники для электроники методом магнетронного распыления стехиометрических мишеней
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Москва, 2021
Формирование пленок дисульфида молибдена для электроники для электроники методом магнетронного распыления стехиометрических мишеней
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Москва, 2021
Библиографическое описание
Скопировать
Чжо, Зин Пьо. Формирование пленок дисульфида молибдена для электроники для электроники методом магнетронного распыления стехиометрических мишеней : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Чжо Зин Пьо; [Место защиты: Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)]. — Москва, 2021. — 16 с..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_010623474
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Формирование пленок дисульфида молибдена для электроники для электроники методом магнетронного распыления стехиометрических мишеней : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.06
Место издания
Москва
Год издания
2021
Объем
16 с.
Ответственность
Чжо Зин Пьо; [Место защиты: Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)]
ББК
В379.24-6,0, З844.13-060.7,0
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
02805nam a22003257 4500
001
010623474
003
RuMoRGB
005
20220315093709.0
008
210520s2021 ru |||| a |00 u rus d
017
##
$a: АР-П-21-002840
$b: RuMoRKP
$a: АР-П-21-002840
$b: RuMoRKP
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.06
$2: nsnr
$a: 05.27.06
$2: nsnr
084
##
$a: В379.24-6,0
$2: rubbk
$a: В379.24-6,0
$2: rubbk
084
##
$a: З844.13-060.7,0
$2: rubbk
$a: З844.13-060.7,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Чжо, Зин Пьо
$a: Чжо, Зин Пьо
245
##
$a: Формирование пленок дисульфида молибдена для электроники для электроники методом магнетронного распыления стехиометрических мишеней :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
$c: Чжо Зин Пьо; [Место защиты: Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)]
$a: Формирование пленок дисульфида молибдена для электроники для электроники методом магнетронного распыления стехиометрических мишеней :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
$c: Чжо Зин Пьо; [Место защиты: Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)]
260
##
$a: Москва
$c: 2021
$a: Москва
$c: 2021
300
##
$a: 16 с.
$a: 16 с.
541
1#
$c: RBT
$d: 20210408
$e: 2021.05.27.73
$c: RBT
$d: 20210408
$e: 2021.05.27.73
650
#1
$a: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$2: nsnr
$a: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$2: nsnr
650
#1
$a: Физико-математические науки -- Физика -- Физика твердого тела. Кристаллография -- Физика полупроводников и диэлектриков -- Физика полупроводников -- Оптические свойства полупроводников -- Тонкие слои (пленки) и наноструктуры
$2: rubbk
$a: Физико-математические науки -- Физика -- Физика твердого тела. Кристаллография -- Физика полупроводников и диэлектриков -- Физика полупроводников -- Оптические свойства полупроводников -- Тонкие слои (пленки) и наноструктуры
$2: rubbk
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Теория. Исследование
$2: rubbk
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Теория. Исследование
$2: rubbk
720
1#
$a: ФГБОУ ВО «Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)»
$a: ФГБОУ ВО «Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)»
787
11
$w: 010623475
$i: Диссертация
$w: 010623475
$i: Диссертация
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL04
$j: 9 21-5/561
$x: 39
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL04
$j: 9 21-5/561
$x: 39
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01010000000/rsl01010623000/rsl01010623474/rsl01010623474.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01010000000/rsl01010623000/rsl01010623474/rsl01010623474.pdf
$y: Читать
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Формирование пленок дисульфида молибдена для электроники для электроники методом магнетронного распыления стехиометрических мишеней : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.06 » , автор — Чжо З.П.. Документ был опубликован в 2021 году. Место издания — Москва. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Формирование пленок дисульфида молибдена для электроники для электроники методом магнетронного распыления стехиометрических мишеней : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.06 » в удобной системе просмотра документов. Документ также доступен для скачивания в форматах: pdf.