Материалы издания отражают современное состояние российской микро- и наноэлектроники и методов и средств разработки микро- и наноэлектронных схем и систем и являются важным источником информации по перспективным направлениям исследований и инвестиций в данной области
Библиографическое описание
Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2021 (МЭС-2021) : X Юбилейная Всероссийская научно-техническая конференция : сборник трудов / Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем проектирования в микроэлектронике Российской академии наук ; под общей ред. А. Л. Стемпковского. Автоматизация проектирования микро- и наноэлектронных схем и систем. Разработка перспективных микро- и наноэлектронных элементов, схем и устройств = Разработка перспективных микро- и наноэлектронных элементов, схем и устройств. — Москва : ИППМ РАН, 2021-, 2021. — VIII, 95 с. : ил..