В третьей части пособия рассмотрены методы получения неорганических соединений, основанные на химическом осаждении из газовой фазы (CVD). Большое внимание уделяется техническому оформлению процесса, свойствам и выбору прекурсоров, преимуществам и ограничениям метода.
Отдельно обсуждаются способы активации газовой фазы, включая термическую, электрическую и электромагнитную активацию. Предназначено для самостоятельной и аудиторной работы студентов, обучающихся по направлениям 04.03.01 <Химия> (дисциплина <Методы получения неорганических соединений>), 04.04.01 <Химия> (дисциплины <Актуальные задачи современной химии>, <Экспериментальные методы неорганической химии>)
Читать аннотацию полностью
Скрыть аннотацию