Исследование эффектов оптической близости и разработка методов их коррекции для критических литографических слоев технологии производства СБИС проектных норм 65 нм : : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 2.2.2.
Исследование эффектов оптической близости и разработка методов их коррекции для критических литографических слоев технологии производства СБИС проектных норм 65 нм : : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 2.2.2.
Это издание было удалено или заменено. Чтобы найти актуальную версию, используйте строку поиска.
Москва
Место издания
2021
Год издания
Описание документа
Код документа в НЭБ
000199_000009_010933339
Автор
Иванов, Владимир Викторович
Заглавие
Исследование эффектов оптической близости и разработка методов их коррекции для критических литографических слоев технологии производства СБИС проектных норм 65 нм : : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 2.2.2.
Место издания
Москва
Год издания
2021
Библиотека