Комплекс методик для оптического исследования рельефа и механических характеристик тонкопленочных структур
диссертация ... кандидата технических наук : 2.2.8.
диссертация ... кандидата технических наук : 2.2.8.
Москва, 2022
Комплекс методик для оптического исследования рельефа и механических характеристик тонкопленочных структур
диссертация ... кандидата технических наук : 2.2.8.
Москва, 2022
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Библиографическое описание
Скопировать
Дедкова, Анна Александровна. Комплекс методик для оптического исследования рельефа и механических характеристик тонкопленочных структур : диссертация ... кандидата технических наук : 2.2.8. / Дедкова Анна Александровна; [Место защиты: ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»]. — Москва, 2022. — 200 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_011126880
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Комплекс методик для оптического исследования рельефа и механических характеристик тонкопленочных структур : диссертация . кандидата технических наук : 2.2.8.
Место издания
Москва
Год издания
2022
Объем
200 с.
Ответственность
Дедкова Анна Александровна; [Место защиты: ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»]
ББК
З843.3-106,0
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
02274nam a22003257 4500
001
011126880
003
RuMoRGB
005
20230301150542.0
008
210330s2022 ru |||| m |00 u rus d
017
##
$a: д6120-22
$b: RuMoRGB
$a: д6120-22
$b: RuMoRGB
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 2.2.8.
$2: nsnr2021
$a: 2.2.8.
$2: nsnr2021
084
##
$a: З843.3-106,0
$2: rubbk
$a: З843.3-106,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Дедкова, Анна Александровна
$a: Дедкова, Анна Александровна
245
##
$a: Комплекс методик для оптического исследования рельефа и механических характеристик тонкопленочных структур :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 2.2.8.
$c: Дедкова Анна Александровна; [Место защиты: ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»]
$a: Комплекс методик для оптического исследования рельефа и механических характеристик тонкопленочных структур :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 2.2.8.
$c: Дедкова Анна Александровна; [Место защиты: ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»]
260
##
$a: Москва
$c: 2022
$a: Москва
$c: 2022
300
##
$a: 200 с.
$b: ил.
$a: 200 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с. 174-195
$a: Библиогр.: с. 174-195
541
1#
$b: https://vak.minobrnauki.gov.ru/advert/100065794
$c: D11-9530
$d: 20220509
$e: 2022.06.09
$b: https://vak.minobrnauki.gov.ru/advert/100065794
$c: D11-9530
$d: 20220509
$e: 2022.06.09
650
#1
$a: Методы и приборы контроля и диагностики материалов, изделий, веществ и природной среды
$2: nsnr2021
$a: Методы и приборы контроля и диагностики материалов, изделий, веществ и природной среды
$2: nsnr2021
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиотехнические материалы и изделия -- Полупроводниковые материалы -- Свойства и качества
$2: rubbk
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиотехнические материалы и изделия -- Полупроводниковые материалы -- Свойства и качества
$2: rubbk
720
1#
$a: ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»
$a: ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»
787
11
$w: 011087101
$i: Автореферат
$w: 011087101
$i: Автореферат
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL03
$j: 61 22-5/1331
$x: 39
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL03
$j: 61 22-5/1331
$x: 39
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01011000000/rsl01011126000/rsl01011126880/rsl01011126880.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01011000000/rsl01011126000/rsl01011126880/rsl01011126880.pdf
$y: Читать
LKR
##
$a: PAR
$b: 011087101
$l: RSL01
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$b: 011087101
$l: RSL01
$m: Диссертация
$n: Автореферат
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Комплекс методик для оптического исследования рельефа и механических характеристик тонкопленочных структур : диссертация . кандидата технических наук : 2.2.8. » , автор — Дедкова А.А.. Документ был опубликован в 2022 году. Место издания — Москва. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Комплекс методик для оптического исследования рельефа и механических характеристик тонкопленочных структур : диссертация . кандидата технических наук : 2.2.8. » в удобной системе просмотра документов.