LDR
02645cam a2200349 i 4500
008
220823m2022 ru |||| 100 | rus|d
040
##
$a: RuMoRKP
$b: rus
$e: rcr
$d: RuMoRGB
080
##
$a: 621.3.049(082)
$2: 4
084
##
$a: 32.844
$2: rubbks
084
##
$a: З844.1-02-5-05я431(2)
$2: rubbk
245
##
$a: Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2022 (МЭС-2022) :
$b: XI Всероссийская научно-техническая конференция : сборник трудов
$c: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем проектирования в микроэлектронике Российской академии наук ; под общей редакцией А. Л. Стемпковского
260
##
$a: Москва
$b: ИППМ РАН
$c: 2022-
336
##
$a: Текст (визуальный)
337
##
$a: непосредственный
500
##
$a: В подзаг.: Вып. 4 XI Всероссийская научно-техническая конференция
500
##
$a: Без тит. л. Описано по обл.
500
##
$a: На обл.: Российская академия наук. 300 лет
504
##
$a: Библиогр. в конце ст.
510
##
$a: Российский индекс научного цитирования (РИНЦ)
650
#1
$a: Микроэлектронные схемы интегральные
$x: Проектирование
$2: RuMoRKP
$x: Автоматизация
650
#1
$a: Микроэлектронная аппаратура
$x: Проектирование
$2: RuMoRKP
$x: Автоматизация
650
#1
$a: Автоматизированные системы проектирования
$2: RuMoRKP
650
#1
$a: Техника. Технические науки -- Энергетика. Радиоэлектроника -- Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Проектирование -- Автоматизация -- Материалы конференции
$2: rubbk
650
#1
$a: Наноэлектроника
$2: RuMoRKP
700
1#
$a: Стемпковский, Александр Леонидович
$d: 1950-
$e: ред.
710
1#
$a: Институт проблем проектирования в микроэлектронике (Москва)