Подвижность электронов в тонких пленках кремния
диссертация ... кандидата физико-математических наук : 1.3.11.
диссертация ... кандидата физико-математических наук : 1.3.11.
Новосибирск, 2022
Подвижность электронов в тонких пленках кремния
диссертация ... кандидата физико-математических наук : 1.3.11.
Новосибирск, 2022
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Библиографическое описание
Скопировать
Зайцева, Эльза Гайнуллаевна. Подвижность электронов в тонких пленках кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 1.3.11. / Зайцева Эльза Гайнуллаевна; [Место защиты: ФГБУН Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук ; Диссовет 24.1.134.01 (Д 003.037.01)]. — Новосибирск, 2022. — 119 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_011512777
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Подвижность электронов в тонких пленках кремния : диссертация . кандидата физико-математических наук : 1.3.11.
Место издания
Новосибирск
Год издания
2022
Объем
119 с.
Ответственность
Зайцева Эльза Гайнуллаевна; [Место защиты: ФГБУН Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук ; Диссовет 24.1.134.01 (Д 003.037.01)]
ББК
В379.371-6,0, З844.13-060.7,0
Язык
Русский
Еще
Ключевые слова
рессеяние электронов в тонких пленках кремния, тонкопленочные транзисторы
Библиотека
LDR
02886nam a22003857 4500
001
011512777
003
RuMoRGB
005
20230602094436.0
008
210330s2022 ru |||| m |00 u rus d
017
##
$a: д1896-23
$b: RuMoRGB
$a: д1896-23
$b: RuMoRGB
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 1.3.11.
$2: nsnr2021
$a: 1.3.11.
$2: nsnr2021
084
##
$a: В379.371-6,0
$2: rubbk
$a: В379.371-6,0
$2: rubbk
084
##
$a: З844.13-060.7,0
$2: rubbk
$a: З844.13-060.7,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Зайцева, Эльза Гайнуллаевна
$a: Зайцева, Эльза Гайнуллаевна
245
##
$a: Подвижность электронов в тонких пленках кремния :
$b: диссертация ... кандидата физико-математических наук : 1.3.11.
$c: Зайцева Эльза Гайнуллаевна; [Место защиты: ФГБУН Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук ; Диссовет 24.1.134.01 (Д 003.037.01)]
$a: Подвижность электронов в тонких пленках кремния :
$b: диссертация ... кандидата физико-математических наук : 1.3.11.
$c: Зайцева Эльза Гайнуллаевна; [Место защиты: ФГБУН Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук ; Диссовет 24.1.134.01 (Д 003.037.01)]
260
##
$a: Новосибирск
$c: 2022
$a: Новосибирск
$c: 2022
300
##
$a: 119 с.
$b: ил.
$a: 119 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с. 105-119
$a: Библиогр.: с. 105-119
541
1#
$b: https://vak.minobrnauki.gov.ru/advert/100071130
$c: D11-16876
$d: 20221217
$e: 2023.01.17
$b: https://vak.minobrnauki.gov.ru/advert/100071130
$c: D11-16876
$d: 20221217
$e: 2023.01.17
541
1#
$c: OEK
$d: 20230215
$c: OEK
$d: 20230215
650
#1
$a: Физика полупроводников
$2: nsnr2021
$a: Физика полупроводников
$2: nsnr2021
650
#1
$a: Физико-математические науки -- Физика -- Физика твердого тела. Кристаллография -- Физика диэлектриков -- Электрические свойства диэлектриков. Электронные и ионные явления -- Электрические свойства тонких пленок диэлектриков
$2: rubbk
$a: Физико-математические науки -- Физика -- Физика твердого тела. Кристаллография -- Физика диэлектриков -- Электрические свойства диэлектриков. Электронные и ионные явления -- Электрические свойства тонких пленок диэлектриков
$2: rubbk
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Нанесение пленочных покрытий
$2: rubbk
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Нанесение пленочных покрытий
$2: rubbk
653
##
$a: рессеяние электронов в тонких пленках кремния
$a: рессеяние электронов в тонких пленках кремния
653
##
$a: тонкопленочные транзисторы
$a: тонкопленочные транзисторы
720
1#
$a: ФГБУН Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук ; Диссовет 24.1.134.01 (Д 003.037.01)
$a: ФГБУН Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук ; Диссовет 24.1.134.01 (Д 003.037.01)
787
11
$w: 011482185
$i: Автореферат
$w: 011482185
$i: Автореферат
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL03
$j: 61 23-1/226
$x: 39
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL03
$j: 61 23-1/226
$x: 39
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01011000000/rsl01011512000/rsl01011512777/rsl01011512777.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01011000000/rsl01011512000/rsl01011512777/rsl01011512777.pdf
$y: Читать
LKR
##
$a: PAR
$b: 011482185
$l: RSL01
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$b: 011482185
$l: RSL01
$m: Диссертация
$n: Автореферат
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Подвижность электронов в тонких пленках кремния : диссертация . кандидата физико-математических наук : 1.3.11. » , автор — Зайцева Э.Г.. Документ был опубликован в 2022 году. Место издания — Новосибирск. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Подвижность электронов в тонких пленках кремния : диссертация . кандидата физико-математических наук : 1.3.11. » в удобной системе просмотра документов.