Влияние особенностей формирования пленок пористого кремния на характеристики полупроводниковых барьерных структур
диссертация ... доктора технических наук : 1.3.11.
диссертация ... доктора технических наук : 1.3.11.
Москва, 2023
Влияние особенностей формирования пленок пористого кремния на характеристики полупроводниковых барьерных структур
диссертация ... доктора технических наук : 1.3.11.
Москва, 2023
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Библиографическое описание
Скопировать
Трегулов, Вадим Викторович. Влияние особенностей формирования пленок пористого кремния на характеристики полупроводниковых барьерных структур : диссертация ... доктора технических наук : 1.3.11. / Трегулов Вадим Викторович; [Место защиты: ФГБОУ ВО «Национальный исследовательский университет «МЭИ» ; Диссовет МЭИ.110]. — Москва, 2023. — 297 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_012607107
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Влияние особенностей формирования пленок пористого кремния на характеристики полупроводниковых барьерных структур : диссертация . доктора технических наук : 1.3.11.
Место издания
Москва
Год издания
2023
Объем
297 с.
Ответственность
Трегулов Вадим Викторович; [Место защиты: ФГБОУ ВО «Национальный исследовательский университет «МЭИ» ; Диссовет МЭИ.110]
ББК
В379.2,03, З843.322.408,0, В372.6,03
Язык
Русский
Еще
Ключевые слова
полупроводниковые структуры с пленками пористого кремния
Библиотека
LDR
02900nam a22004097 4500
001
012607107
003
RuMoRGB
005
20240603141927.0
008
240216s2023 ru |||| m |00 u rus d
017
##
$a: д1929-24
$b: RuMoRGB
$a: д1929-24
$b: RuMoRGB
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
044
##
$a: ru
$a: ru
072
#1
$a: 1.3.11.
$2: nsnr2021
$a: 1.3.11.
$2: nsnr2021
084
##
$a: В379.2,03
$2: rubbk
$a: В379.2,03
$2: rubbk
084
##
$a: З843.322.408,0
$2: rubbk
$a: З843.322.408,0
$2: rubbk
084
##
$a: В372.6,03
$2: rubbk
$a: В372.6,03
$2: rubbk
100
1#
$a: Трегулов, Вадим Викторович
$a: Трегулов, Вадим Викторович
245
##
$a: Влияние особенностей формирования пленок пористого кремния на характеристики полупроводниковых барьерных структур :
$b: диссертация ... доктора технических наук : 1.3.11.
$c: Трегулов Вадим Викторович; [Место защиты: ФГБОУ ВО «Национальный исследовательский университет «МЭИ» ; Диссовет МЭИ.110]
$a: Влияние особенностей формирования пленок пористого кремния на характеристики полупроводниковых барьерных структур :
$b: диссертация ... доктора технических наук : 1.3.11.
$c: Трегулов Вадим Викторович; [Место защиты: ФГБОУ ВО «Национальный исследовательский университет «МЭИ» ; Диссовет МЭИ.110]
260
##
$a: Москва
$c: 2023
$a: Москва
$c: 2023
300
##
$a: 297 с.
$b: ил.
$a: 297 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с. 253-282
$a: Библиогр.: с. 253-282
541
1#
$b: https://vak.minobrnauki.gov.ru/advert_independent/92642775002
$c: D11-26313
$d: 20231031
$e: 2024.02.01
$b: https://vak.minobrnauki.gov.ru/advert_independent/92642775002
$c: D11-26313
$d: 20231031
$e: 2024.02.01
541
1#
$c: OEK
$d: 20240520
$c: OEK
$d: 20240520
650
#1
$a: Физика полупроводников
$2: nsnr2021
$a: Физика полупроводников
$2: nsnr2021
650
#1
$a: Физико-математические науки -- Физика -- Физика твердого тела. Кристаллография -- Физика полупроводников и диэлектриков -- Физика полупроводников
$2: rubbk
$a: Физико-математические науки -- Физика -- Физика твердого тела. Кристаллография -- Физика полупроводников и диэлектриков -- Физика полупроводников
$2: rubbk
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиотехнические материалы и изделия -- Полупроводниковые материалы -- Кремний -- Получение -- Исследование
$2: rubbk
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиотехнические материалы и изделия -- Полупроводниковые материалы -- Кремний -- Получение -- Исследование
$2: rubbk
650
#1
$a: Физико-математические науки -- Физика -- Физика твердого тела. Кристаллография -- Структура твердых тел -- Тонкие слои твердых тел. Наноструктуры
$2: rubbk
$a: Физико-математические науки -- Физика -- Физика твердого тела. Кристаллография -- Структура твердых тел -- Тонкие слои твердых тел. Наноструктуры
$2: rubbk
653
##
$a: полупроводниковые структуры с пленками пористого кремния
$a: полупроводниковые структуры с пленками пористого кремния
720
1#
$a: ФГБОУ ВО «Национальный исследовательский университет «МЭИ» ; Диссовет МЭИ.110
$a: ФГБОУ ВО «Национальный исследовательский университет «МЭИ» ; Диссовет МЭИ.110
787
11
$w: 012253046
$i: Автореферат
$w: 012253046
$i: Автореферат
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL03
$j: 71 24-5/43
$x: 39
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL03
$j: 71 24-5/43
$x: 39
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01012000000/rsl01012607000/rsl01012607107/rsl01012607107.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01012000000/rsl01012607000/rsl01012607107/rsl01012607107.pdf
$y: Читать
LKR
##
$a: PAR
$b: 012253046
$l: RSL01
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$b: 012253046
$l: RSL01
$m: Диссертация
$n: Автореферат
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Влияние особенностей формирования пленок пористого кремния на характеристики полупроводниковых барьерных структур : диссертация . доктора технических наук : 1.3.11. » , автор — Трегулов В.В.. Документ был опубликован в 2023 году. Место издания — Москва. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Влияние особенностей формирования пленок пористого кремния на характеристики полупроводниковых барьерных структур : диссертация . доктора технических наук : 1.3.11. » в удобной системе просмотра документов.