Физико-химические особенности кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме : автореферат дис. кандидата физико-математических наук : 1.3.8. (2024) — Козлов А.А. — читать диссертацию (автореферат) онлайн, скачать бесплатно PDF

Библиографическое описание

Скопировать

Козлов, Андрей Андреевич. Физико-химические особенности кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 1.3.8. / Козлов Андрей Андреевич; [Место защиты: ФГАОУ ВО «Пермский государственный национальный исследовательский университет» ; Диссовет (24.2.358.03)]. — Пермь, 2024. — 23 с. : ил..

Детальная информация

Код документа в НЭБ

000199_000009_013143694

Каталог

Авторефераты диссертаций

Автор(ы)

Козлов А.А.

Заглавие

Физико-химические особенности кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме : автореферат дис. кандидата физико-математических наук : 1.3.8.

Место издания

Пермь

Год издания

2024

Объем

23 с.

Ответственность

Козлов Андрей Андреевич; [Место защиты: ФГАОУ ВО «Пермский государственный национальный исследовательский университет» ; Диссовет (24.2.358.03)]

Регистрационный номер

АР-П-25-003396

ББК

В333.13,03, З844.1-060.14-1,0

Язык

Русский

Еще

Ключевые слова

реактивное ионное травление, фотонные интегральные схемы, плазменное травление кинетика

Библиотека

Российская государственная библиотека (РГБ)

Еще

MARC-запись (MARC21)

LDR

02915nam a22003857 4500

001

013143694

003

RuMoRGB

005

20250729105105.0

008

240917s2024 ru |||| a |00 u rus d

017

##
$a: АР-П-25-003396
$b: RuMoRGB

040

##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$e: rcr

041

##
$a: rus

044

##
$a: ru

072

#1
$a: 1.3.8.
$2: nsnr2021

084

##
$a: В333.13,03
$2: rubbk

084

##
$a: З844.1-060.14-1,0
$2: rubbk

100

1#
$a: Козлов, Андрей Андреевич

245

##
$a: Физико-химические особенности кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме :
$b: автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 1.3.8.
$c: Козлов Андрей Андреевич; [Место защиты: ФГАОУ ВО «Пермский государственный национальный исследовательский университет» ; Диссовет (24.2.358.03)]

260

##
$a: Пермь
$c: 2024

300

##
$a: 23 с.
$b: ил.

541

1#
$b: https://vak.minobrnauki.gov.ru/advert/115583740001
$c: D11-33875
$d: 20240917
$e: 2024.11.14

541

1#
$c: OEK
$d: 20250410

650

#1
$a: Физика конденсированного состояния
$2: nsnr2021

650

#1
$a: Физико-математические науки -- Физика -- Электричество и магнетизм -- Электронные и ионные явления. Физика плазмы -- Элементарные процессы -- Взаимодействие заряженных частиц с поверхностью
$2: rubbk

650

#1
$a: Техника. Технические науки -- Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микрорадиоэлектронная аппаратура -- Технология производства -- Плазменная обработка, травление -- Теория. Исследование
$2: rubbk

653

##
$a: реактивное ионное травление

653

##
$a: плазменное травление кинетика

653

##
$a: фотонные интегральные схемы

720

1#
$a: ФГАОУ ВО «Пермский государственный национальный исследовательский университет» ; Диссовет (24.2.358.03)

787

11
$w: 013240864
$i: Диссертация

852

1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL02
$j: 9 25-1/249
$x: 39

856

11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01013000000/rsl01013143000/rsl01013143694/rsl01013143694.pdf
$y: Читать

Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Физико-химические особенности кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме : автореферат дис. кандидата физико-математических наук : 1.3.8. » , автор — Козлов А.А.. Документ был опубликован в 2024 году. Место издания — Пермь. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Физико-химические особенности кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме : автореферат дис. кандидата физико-математических наук : 1.3.8. » в удобной системе просмотра документов. Документ также доступен для скачивания в форматах: pdf.

Библиографическое описание

Детальная информация

Тематика

Другие книги автора

Другие документы из источника "Российская государственная библиотека (РГБ)" — Авторефераты диссертаций

MARC-запись (MARC21)