Физико-химические особенности кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме
диссертация ... кандидата физико-математических наук : 1.3.8.
диссертация ... кандидата физико-математических наук : 1.3.8.
Пермь, 2024
Физико-химические особенности кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме
диссертация ... кандидата физико-математических наук : 1.3.8.
Пермь, 2024
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Библиографическое описание
Скопировать
Козлов, Андрей Андреевич. Физико-химические особенности кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 1.3.8. / Козлов Андрей Андреевич; [Место защиты: ФГАОУ ВО «Пермский государственный национальный исследовательский университет» ; Диссовет (24.2.358.03)]. — Пермь, 2024. — 144 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_013240864
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Физико-химические особенности кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме : диссертация . кандидата физико-математических наук : 1.3.8.
Место издания
Пермь
Год издания
2024
Объем
144 с.
Ответственность
Козлов Андрей Андреевич; [Место защиты: ФГАОУ ВО «Пермский государственный национальный исследовательский университет» ; Диссовет (24.2.358.03)]
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
01968nam a22003257 4500
001
013240864
003
RuMoRGB
005
20241220112129.0
008
241116s2024 ru |||| m |00 u rus d
017
##
$a: д8913-24
$b: RuMoRGB
$a: д8913-24
$b: RuMoRGB
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$e: rcr
$a: RuMoRGB
$b: rus
$e: rcr
041
##
$a: rus
$a: rus
044
##
$a: ru
$a: ru
072
#1
$a: 1.3.8.
$2: nsnr2021
$a: 1.3.8.
$2: nsnr2021
100
1#
$a: Козлов, Андрей Андреевич
$a: Козлов, Андрей Андреевич
245
##
$a: Физико-химические особенности кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме :
$b: диссертация ... кандидата физико-математических наук : 1.3.8.
$c: Козлов Андрей Андреевич; [Место защиты: ФГАОУ ВО «Пермский государственный национальный исследовательский университет» ; Диссовет (24.2.358.03)]
$a: Физико-химические особенности кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме :
$b: диссертация ... кандидата физико-математических наук : 1.3.8.
$c: Козлов Андрей Андреевич; [Место защиты: ФГАОУ ВО «Пермский государственный национальный исследовательский университет» ; Диссовет (24.2.358.03)]
260
##
$a: Пермь
$c: 2024
$a: Пермь
$c: 2024
300
##
$a: 144 с.
$b: ил.
$a: 144 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с. 130-142
$a: Библиогр.: с. 130-142
541
1#
$b: https://vak.minobrnauki.gov.ru/advert/115583740001
$c: D11-33875
$d: 20240917
$e: 2024.11.14
$b: https://vak.minobrnauki.gov.ru/advert/115583740001
$c: D11-33875
$d: 20240917
$e: 2024.11.14
541
1#
$c: OEK
$d: 20241212
$c: OEK
$d: 20241212
650
#1
$a: Физика конденсированного состояния
$2: nsnr2021
$a: Физика конденсированного состояния
$2: nsnr2021
720
1#
$a: ФГАОУ ВО «Пермский государственный национальный исследовательский университет» ; Диссовет (24.2.358.03)
$a: ФГАОУ ВО «Пермский государственный национальный исследовательский университет» ; Диссовет (24.2.358.03)
787
11
$w: 013143694
$i: Автореферат
$w: 013143694
$i: Автореферат
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL01
$j: 61 24-1/688
$x: 39
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL01
$j: 61 24-1/688
$x: 39
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01013000000/rsl01013240000/rsl01013240864/rsl01013240864.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01013000000/rsl01013240000/rsl01013240864/rsl01013240864.pdf
$y: Читать
LKR
##
$a: PAR
$b: 013143694
$l: RSL01
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$b: 013143694
$l: RSL01
$m: Диссертация
$n: Автореферат
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Физико-химические особенности кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме : диссертация . кандидата физико-математических наук : 1.3.8. » , автор — Козлов А.А.. Документ был опубликован в 2024 году. Место издания — Пермь. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Физико-химические особенности кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме : диссертация . кандидата физико-математических наук : 1.3.8. » в удобной системе просмотра документов.