Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии
учебно-методический комплекс по тематическому направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению 152200 "Наноинженерия"
учебно-методический комплекс по тематическому направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению 152200 "Наноинженерия"
Москва : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011
Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии
учебно-методический комплекс по тематическому направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению 152200 "Наноинженерия"
Москва : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Библиографическое описание
Скопировать
Панфилов, Юрий Васильевич. Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии : учебно-методический комплекс по тематическому направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению 152200 "Наноинженерия" / Ю. В. Панфилов, К. М. Моисеев, В. П. Михайлов ; под ред. В. А. Шахнова. — Москва : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. — 191 с. : ил., табл. : 22 см.; ISBN 978-5-7038-3494-7, 978-5-7038-3509-8.
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_02000010352
Каталог
Коллекции
Автор(ы)
Заглавие
Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии : учебно-методический комплекс по тематическому направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению 152200 "Наноинженерия"
Место издания
Москва
Издательство
Год издания
2011
Объем
191 с.
Ответственность
Ю. В. Панфилов, К. М. Моисеев, В. П. Михайлов ; под ред. В. А. Шахнова
ISBN
978-5-7038-3494-7, 978-5-7038-3509-8
ББК
З844.19-06я73-1, З851-06я73-1
Язык
Русский
Еще
Ключевые слова
высоковакуумные технологии в наноэлектронике - преподавание в высшей школе, наноэлектроника -- вакуумные технологии, нанотехнологии, технологические процессы, учебно-методический комплекс, инженерно-техническая деятельность
Библиотека
LDR
03071nam a2200409 i 4500
001
000010352
005
20231204212522.0
008
160721s2011 ru a || ||| ||rus d
020
##
$a: 978-5-7038-3494-7
$a: 978-5-7038-3494-7
020
##
$a: 978-5-7038-3509-8
$a: 978-5-7038-3509-8
035
##
$a: (RuMoLitres)-83edf75c-9fe8-11e5-91af-0cc47a1952f2
$a: (RuMoLitres)-83edf75c-9fe8-11e5-91af-0cc47a1952f2
040
##
$b: rus
$c: RuMoLitres
$e: rcr
$b: rus
$c: RuMoLitres
$e: rcr
041
##
$a: rus
$a: rus
044
##
$a: ru
$a: ru
084
##
$a: З844.19-06я73-1
$2: rubbk
$a: З844.19-06я73-1
$2: rubbk
084
##
$a: З851-06я73-1
$2: rubbk
$a: З851-06я73-1
$2: rubbk
100
1#
$a: Панфилов, Юрий Васильевич
$a: Панфилов, Юрий Васильевич
245
##
$a: Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии :
$b: учебно-методический комплекс по тематическому направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению 152200 "Наноинженерия"
$c: Ю. В. Панфилов, К. М. Моисеев, В. П. Михайлов ; под ред. В. А. Шахнова
$a: Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии :
$b: учебно-методический комплекс по тематическому направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению 152200 "Наноинженерия"
$c: Ю. В. Панфилов, К. М. Моисеев, В. П. Михайлов ; под ред. В. А. Шахнова
260
##
$a: Москва
$b: Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана
$c: 2011
$a: Москва
$b: Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана
$c: 2011
300
##
$a: 191 с.
$b: ил., табл.
$c: 22 см
$a: 191 с.
$b: ил., табл.
$c: 22 см
336
##
$a: Текст (визуальный)
$a: Текст (визуальный)
337
##
$a: непосредственное
$a: непосредственное
504
##
$a: Библиогр.: с. 167
$a: Библиогр.: с. 167
650
#1
$a: Нанотехнологии
$2: nlr_sh
RU\NLR\AUTH\661505211
$x: Применение в радиотехнике
$v: Учебные издания для высших учебных заведений
$a: Нанотехнологии
$2: nlr_sh
RU\NLR\AUTH\661505211
$x: Применение в радиотехнике
$v: Учебные издания для высших учебных заведений
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Наноэлектронные схемы и приборы -- Технология производства -- Учебник для высшей школы
$2: rubbk
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Наноэлектронные схемы и приборы -- Технология производства -- Учебник для высшей школы
$2: rubbk
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Электроника -- Электровакуумные приборы -- Технология производства -- Учебник для высшей школы
$2: rubbk
$a: Радиоэлектроника -- Электроника -- Электровакуумные приборы -- Технология производства -- Учебник для высшей школы
$2: rubbk
653
##
$a: высоковакуумные технологии в наноэлектронике - преподавание в высшей школе
$a: высоковакуумные технологии в наноэлектронике - преподавание в высшей школе
653
##
$a: наноэлектроника -- вакуумные технологии
$a: наноэлектроника -- вакуумные технологии
653
##
$a: нанотехнологии
$a: нанотехнологии
653
##
$a: технологические процессы
$a: технологические процессы
653
##
$a: учебно-методический комплекс
$a: учебно-методический комплекс
653
##
$a: инженерно-техническая деятельность
$a: инженерно-техническая деятельность
700
1#
$a: Михайлов, Валерий Павлович
$a: Михайлов, Валерий Павлович
700
1#
$a: Моисеев, Константин Михайлович
$a: Моисеев, Константин Михайлович
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl02000000000/rsl02000010000/rsl02000010352/rsl02000010352.pdf
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl02000000000/rsl02000010000/rsl02000010352/rsl02000010352.pdf
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии : учебно-методический комплекс по тематическому направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению 152200 "Наноинженерия" » , автор — Панфилов Ю.В.. Документ был опубликован в 2011 году. Место издания — Москва. Издательство — Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии : учебно-методический комплекс по тематическому направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению 152200 "Наноинженерия" » в удобной системе просмотра документов.