Формирование нанокластеров кремния в диоксиде кремния под воздействием электронного пучка автореферат диссертации на соискание ученой степени к. ф.-м. н. специальность 01.04.10 <Физика полупроводников>
Формирование нанокластеров кремния в диоксиде кремния под воздействием электронного пучка автореферат диссертации на соискание ученой степени к. ф.-м. н. специальность 01.04.10 <Физика полупроводников>
Формирование нанокластеров кремния в диоксиде кремния под воздействием электронного пучка автореферат диссертации на соискание ученой степени к. ф.-м. н. специальность 01.04.10 <Физика полупроводников>
Формирование нанокластеров кремния в диоксиде кремния под воздействием электронного пучка : : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
1# $a: Формирование нанокластеров кремния в диоксиде кремния под воздействием электронного пучка $e: автореферат диссертации на соискание ученой степени к. ф.-м. н. $e: специальность 01.04.10 <Физика полупроводников> $f: Колесникова Екатерина Владимировна $g: [Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе РАН]
210
## $a: Санкт-Петербург $d: 2009
215
## $a: 19 с. $c: ил. $d: 21
320
## $a: Библиогр.: с. 18-19 (6 назв.)
675
## $a: 537 $v: 3 $z: rus
686
## $a: 29.19 $2: rugasnti
686
## $a: 22.33 $2: rubbk
686
## $a: 01.04.10 $2: oksvnk
700
#1 $a: Колесникова $b: Е. В. $c: канд. физ.-мат. наук $g: Екатерина Владимировна $3: RU\NLR\AUTH\770253094 $4: 070