Повышение качества процессов получения диэлектрических покрытий (при изготовлении элементов РЭУ) специальность 05.02.23 <Стандартизация и управление качеством продукции> ; специальность 05.27.01 <Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах>
Повышение качества процессов получения диэлектрических покрытий (при изготовлении элементов РЭУ) специальность 05.02.23 <Стандартизация и управление качеством продукции> ; специальность 05.27.01 <Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах>
Повышение качества процессов получения диэлектрических покрытий (при изготовлении элементов РЭУ) специальность 05.02.23 <Стандартизация и управление качеством продукции> ; специальность 05.27.01 <Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах>
Повышение качества процессов получения диэлектрических покрытий : : при изготовлении элементов РЭУ : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.02.23, 05.27.01
1# $a: Повышение качества процессов получения диэлектрических покрытий $e: (при изготовлении элементов РЭУ) $e: специальность 05.02.23 <Стандартизация и управление качеством продукции> ; специальность 05.27.01 <Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах> $f: Овчинникова Елена Вадимовна $g: [Ряз. гос. ун-т им. С. А. Есенина] $g: Место защиты: Всерос. НИИ сертификации
210
## $a: Москва $d: 2012
215
## $a: 19 с. $c: ил. $d: 21
320
## $a: Библиогр.: с. 18-19 (17 назв.)
675
## $a: 621.38 $v: 3 $z: rus
686
## $a: 47 $2: rugasnti
686
## $a: 32.85 $2: rubbk
686
## $a: 05.02.23 $2: oksvnk
686
## $a: 05.27.01 $2: oksvnk
700
#1 $a: Овчинникова $b: Е. В. $g: Елена Вадимовна $4: 070