Способ контроля физико-механических характеристик нарушенного поверхностного слоя полупроводниковых пластин
Изобретение относится к измерительнойтехнике, может использоватьсядля определения однородности поверхностного слоя полупроводниковыхпластин и позволяет повысить точность контроля поверхности полупроводниковых ппастин за счет воз- буждения изгибных колебаний, определениярезонансной частоты и радиусов узловых окружностей, по измерению которых судят о величине физико- механических характеристик пластин.
1 ил. 1C а О Од ;о
Детальная информация
Портал НЭБ предлагает вам прочитать онлайн или скачать патент «Способ контроля физико-механических характеристик нарушенного поверхностного слоя полупроводниковых пластин», заявителя ПОЛОНИН АЛЕКСАНДР КОНСТАНТИНОВИЧ, ДИДКОВСКИЙ ВИТАЛИЙ СЕМЕНОВИЧ, МУЗЫЧЕНКО ОЛЕГ МИХАЙЛОВИЧ, КВАСОВ НИКОЛАЙ ТРОФИМОВИЧ, ПРОХОРЕНКО НИКОЛАЙ ЛЕОНИДОВИЧ. Содержит 3 ст. Язык: «Русский».
Выражаем благодарность библиотеке «Федеральный институт промышленной собственности, отделение ВПТБ» за предоставленный материал.