ИОННЫЙ ИСТОЧНИК
Изобретение относится к технологическим источникам ионов. Целью изобретения является снижение расходимости пучка ионов. Источник содержит разрядную камеру 4. Входной 7 и выходной 9 электроды системы 6 формирования пучка соединены с отрицательным полюсом источника 10 электропитания.
На выходе камеры 15 нейтрализации установлен дополнительный электрод 24. От источника 25 электропитания в системе нейтрализации горит разряд. Образующиеся холодные электроны нейтрализуют пучок ионов. 1 з. п. ф-лы, 1 ил.
Описание документа
Портал НЭБ предлагает вам прочитать онлайн или скачать патент «ИОННЫЙ ИСТОЧНИК», заявителя Коновалов А.И., Никонов А.В., Царев В.А. Содержит 5 ст. Язык: «Русский».
Выражаем благодарность библиотеке «Федеральный институт промышленной собственности, отделение ВПТБ» за предоставленный материал.