СПОСОБ ИССЛЕДОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ МИКРООБЪЕКТОВ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО РЕАЛИЗАЦИИ

К промежутку между проводящей иглой и поверхностью микрообъекта дополнительно прикладывают сверхвысокочастотное напряжение одной или нескольких частот, регистрируют сверхвысокочастотную компоненту туннельного тока, а управление перемещением проводящей иглы и определение рельефа поверхности осуществляют по величинам постоянного туннельного тока и сверхвысокочастотной компоненты туннельного тока. Устройство содержит подложку для размещения микрообъекта, проводящую иглу туннельного микроскопа, выполненную с возможностью перемещения над поверхностью микрообъекта и сопряженную с блоком управления туннельным микроскопом. Введены сверхвысокочастотный резонатор, снабженный входной и выходной петлями связи, в котором размещена проводящая игла туннельного микроскопа, последовательно соединенные генератор, однонаправленный элемент и фильтр нижних частот, выход которого соединен с входной петлей связи, спектр-анализатор, вход которого соединен с выходом перестраиваемого фильтра, а выход подключен ко входу блока управления туннельного микроскопа. Боковая поверхность центрального электрода выполнена конической или параболической, или экспоненциальной. 2 с.п. ф-лы, 1 ил.