ДУАЛЬНАЯ МАГНЕТРОННАЯ РАСПЫЛИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА
Патент на изобретение
ДУАЛЬНАЯ МАГНЕТРОННАЯ РАСПЫЛИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА
Патент на изобретение
Изобретение относится к плазменной технике, в частности к дуальной магнетронной распылительной системе, и может найти применение для нанесения тонких пленок из металлов и их соединений в различных отраслях техники. Дуальная магнетронная распылительная система содержит расположенные в одной плоскости рядом друг с другом два планарных магнетрона, каждый из которых содержит корпус, магнитную систему и плоскую мишень, и систему питания с изменяемой полярностью.
Оба магнетрона размещены в дополнительном общем корпусе изолировано от него. Между планарными магнетронами расположена дополнительная магнитная система, полярность которой совпадает с полярностью центрального магнита магнитной системы каждого магнетрона. Магнетроны подключены к системе питания с изменяемой полярностью таким образом, что в один и тот же момент времени полярность напряжения на магнетронах противоположна. 2 ил.
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000224_000128_0002371514_20091027_C1_RU
Каталог
Автор(ы)
Патентообладатель(и)
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ" (RU)
Еще
МПК
C23C 14/35
Еще
Вид документа
Патент на изобретение
Еще
Название
ДУАЛЬНАЯ МАГНЕТРОННАЯ РАСПЫЛИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА
Страна
РОССИЯ
Дата публикации
2009-10-27
Язык
Русский
Еще
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « ДУАЛЬНАЯ МАГНЕТРОННАЯ РАСПЫЛИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА » , автор — Янин Сергей Николаевич (RU), Юрьева Алена Викторовна (RU), Юрьев Юрий Николаевич (RU), Кривобоков Валерий Павлович (RU). Документ был опубликован в 2009 году. Место издания — РОССИЯ. Документ размещен в каталоге НЭБ 2009-10-27 поступления в рубрике: Патент на изобретение. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Федеральный институт промышленной собственности, отделение ВПТБ". Фонд библиотеки расположен по адресу: 125993, Бережковская набережная, ул. 24, к.1. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « ДУАЛЬНАЯ МАГНЕТРОННАЯ РАСПЫЛИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА » в удобной системе просмотра документов. Документ также доступен для скачивания в форматах: pdf.