СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ЛИНИЯ ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ
Патент на изобретение
СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ЛИНИЯ ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ
Патент на изобретение
Изобретение относится к способу и устройству нанесения тонкопленочных покрытий на подложки и может быть использовано для нанесений тонкопленочных покрытий с заданными оптическими, электрическими и другими характеристиками. Технический результат заключается в обеспечении возможности обработки как гибких крупноформатных подложек, так и подложек небольшого размера с высокой степенью равномерности покрытия.
Подложки располагают на вращающихся барабанах, которые последовательно перемещают вдоль зон обработки технологической линии с одинаковой постоянной линейной и угловой скоростью. При этом соотношение линейной и угловой скоростей барабана выбирается таким образом, чтобы каждая точка поверхности барабана совершала не менее двух полных оборотов при прохождении зоны обработки. В технологической линии содержатся шлюзовые, буферные камеры и по крайней мере одна технологическая камера с технологическим устройством, держатели подложек и транспортная система. Держатели расположены на каретках, установленных с возможностью последовательного прохождения камер. Каждый держатель подложек выполнен в виде вращающегося барабана. Каретки выполнены с возможностью перемещения с постоянной линейной скоростью. 2 н. и 9 з.п. ф-лы, 4 ил.
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000224_000128_0002507308_20140220_C1_RU
Каталог
Автор(ы)
Патентообладатель(и)
Хисамов Айрат Хамитович (RU)
Еще
МПК
C23C 16/54, C23C 14/56
Еще
Вид документа
Патент на изобретение
Еще
Название
СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ЛИНИЯ ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ
Страна
РОССИЯ
Дата публикации
2014-02-20
Язык
Русский
Еще
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ЛИНИЯ ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ » , автор — Хисамов Айрат Хамитович (RU). Документ был опубликован в 2014 году. Место издания — РОССИЯ. Документ размещен в каталоге НЭБ 2014-02-20 поступления в рубрике: Патент на изобретение. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Федеральный институт промышленной собственности, отделение ВПТБ". Фонд библиотеки расположен по адресу: 125993, Бережковская набережная, ул. 24, к.1. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ЛИНИЯ ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ » в удобной системе просмотра документов. Документ также доступен для скачивания в форматах: pdf.