Патент «СПОСОБ ГЛУБОКОГО АНИЗОТРОПНОГО ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР» (2024) — Голишников Александр Анатольевич (RU), Дюжев Николай Алексеевич (RU), Сомов Никита Михайлович (RU), Парамонов Владислав Витальевич (RU), Осипова Татьяна Викторовна (RU), Потапенко Илья Викторович (RU), Крупкина Татьяна Юрьевна (RU), Путря Михаил Георгиевич (RU), Лосев Владимир Вячеславович (RU), Чаплыгин Юри... | НЭБ [000224_000128_0002824746_20240813_C1

Изобретение относится к технологии изготовления микроэлектромеханических систем на основе кремния. Способ глубокого анизотропного плазменного травления кремния представляет собой циклический трехэтапный процесс. На первом этапе цикла происходит изотропное травление кремния в газовой смеси элегаза и кислорода.

Второй этап характеризуется полимеризацией поверхности структуры в среде октафторциклобутана для предотвращения латерального травления. На третьем этапе полимерный слой на дне структуры удаляется направленным распылением ионами аргона, после чего цикл повторяется. При непрерывном травлении глубоких структур с большой площадью вскрытия происходит избыточное выделение тепла, результатом чего служит перегрев обрабатываемой кремниевой пластины. С целью предотвращения появления негативных эффектов вследствие перегрева обрабатываемой структуры используется интервальный способ обработки, при котором через некоторое количество циклов пластина извлекается из реактора и остужается. Техническим результатом является значительное улучшение таких параметров, как анизотропия, равномерность и качество травления кремниевых структур. 2 ил.

Читать реферат полностью

Детальная информация

Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « СПОСОБ ГЛУБОКОГО АНИЗОТРОПНОГО ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР » , автор — Голишников Александр Анатольевич (RU), Дюжев Николай Алексеевич (RU), Сомов Никита Михайлович (RU), Парамонов Владислав Витальевич (RU), Осипова Татьяна Викторовна (RU), Потапенко Илья Викторович (RU), Крупкина Татьяна Юрьевна (RU), Путря Михаил Георгиевич (RU), Лосев Владимир Вячеславович (RU), Чаплыгин Юрий Александрович (RU). Документ был опубликован в 2024 году. Место издания — РОССИЯ. Документ размещен в каталоге НЭБ 2024-08-13 поступления в рубрике: Патент на изобретение. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Федеральный институт промышленной собственности, отделение ВПТБ". Фонд библиотеки расположен по адресу: 125993, Бережковская набережная, ул. 24, к.1. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « СПОСОБ ГЛУБОКОГО АНИЗОТРОПНОГО ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР » в удобной системе просмотра документов. Документ также доступен для скачивания в форматах: pdf.

СПОСОБ ГЛУБОКОГО АНИЗОТРОПНОГО ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР

Детальная информация

Другие документы из источника "Федеральный институт промышленной собственности, отделение ВПТБ" — Патентные документы