Версия для слепых

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ ПЛЕНОК ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ

Год издания
РОССИЯ
Место издания

Устройство относится к оборудованию для получения полупроводниковых структур, например антимонида индия из паровой фазы. Для повышения выхода годного материала за счет улучшения распределения температуры по поверхности подложек по всему подложкодержателю устройство снабжено тепловым зонтом, работающим по принципу тепловой трубы, обладающим способностью за счет применения жидкого металлического теплоносителя мгновенно распределять температуру равномерно по всей излучающей поверхности.

О произведении

Язык
Русский
Библиотека
Федеральный институт промышленной собственности, отделение ВПТБ
МПК
H01L 21/00
Заявитель
Особое конструкторское бюро машиностроения ПО "Гранат"
Код вида документа
Заявка на изобретение

Портал НЭБ предлагает вам прочитать онлайн патент «УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ ПЛЕНОК ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ», заявителя Алексанов А.Е., Артюшевский В.Б., Алексеев М.Н., Щепетов А.В., Игуменов В.Т. Язык: «Русский».

Выражаем благодарность библиотеке «Федеральный институт промышленной собственности, отделение ВПТБ» за предоставленный материал.

Вы находитесь на новой версии портала Национальной Электронной Библиотеки. Если вы хотите воспользоваться старой версией, перейдите по ссылке .