УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ ПЛЕНОК ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ
Устройство относится к оборудованию для получения полупроводниковых структур, например антимонида индия из паровой фазы. Для повышения выхода годного материала за счет улучшения распределения температуры по поверхности подложек по всему подложкодержателю устройство снабжено тепловым зонтом, работающим по принципу тепловой трубы, обладающим способностью за счет применения жидкого металлического теплоносителя мгновенно распределять температуру равномерно по всей излучающей поверхности.
Описание документа
Портал НЭБ предлагает вам прочитать онлайн или скачать патент «УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ ПЛЕНОК ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ», заявителя Алексанов А.Е., Артюшевский В.Б., Алексеев М.Н., Щепетов А.В., Игуменов В.Т. Язык: «Русский».
Выражаем благодарность библиотеке «Федеральный институт промышленной собственности, отделение ВПТБ» за предоставленный материал.