СПОСОБ ПОДГОТОВКИ ПОВЕРХНОСТИ ПЛАСТИН КРЕМНИЯ

Сущность изобретения: при изготовлении подложек монокристаллического кремния по известной технологии, включающей резку слитка на пластины, химическое травление и химико-механическое полирование, на рабочей стороне пластин путем анодной обработки в растворе фтористоводородной кислоты формируют слой пористого кремния, толщиной в 2-5 раз превышающей глубину нарушенного слоя от химико-механического полирования, а последующее химико-динамическое полирование проводят в растворе гидроксида калия или натрия на глубину, в 1,5 - 2 раза большую толщины слоя пористого кремния. Положительный эффект: снижение плотности дефектов и примесей в приповерхностных слоях подложек кремния и повышение их процента выхода годных.