СИСТЕМА КОНТРОЛЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА ДЛЯ ЛАЗЕРОВ, ИСПОЛЬЗУЕМЫХ В ЛИТОГРАФИИ

2. Система по п.1, в которой указанным множеством лазеров являются узкополосные эксимерные лазеры. 3. Система по п.1, в которой каждый сервер терминала имеет уникальный адрес в сети Интернет. 4. Система по п.1, в которой указанный второй сервер расположен на предприятии-изготовителе лазеров. 5. Система по п.1, в которой указанное центральное серверное устройство производственного предприятия запрограммировано посредством программного обеспечения, созданного в модульном виде, а указанное программное обеспечение содержит в себе (а) модуль сбора данных; (б) модуль синтаксического анализатора; (в) модуль базы данных; (г) модуль интерфейса пользователя. 6. Система по п.5, в которой указанный модуль сбора данных содержит в себе следующие программные компоненты: (а) считывание из лазера и запись в него; (б) ввод команд в лазеры; (в) очередь вводимых команд; (г) считывание данных из лазеров; (д) главный планировщик; (е) интерфейс синтаксического анализатора; (ж) очередь на выполнение записи в базу данных; (з) файлы регистрации системных ошибок и фоновая программа (демон) определения ошибок. 7. Система по п.1, в которой данные, собранные из указанных лазеров, представлены на Web-узле, созданном посредством указанного центрального серверного устройства производственного предприятия. 8. Система по п.7, в которой указанные данные, собранные из указанных лазеров, представлены в виде сводных диаграмм. 9. Система по п.7, в которой указанный Web-узел содержит в себе Web-страницы. 10. Система по п.9, в которой указанные Web-страницы содержат в себе (а) административную страницу; (б) страницы сводок о конкретных лазерах; (в) страницы журнала регистрации технического обслуживания; (г) страницы ошибок. 11. Система по п.8, в которой указанные диаграммы содержат в себе (а) диаграммы срока службы рабочей камеры; (б) диаграммы для программы управления локальной сетью (LNM); (в) диаграммы для модуля стабилизации; (г) диаграммы для времени безотказной работы или времени простоя; (д) диаграммы, относящиеся к эксплуатационному обслуживанию. 12. Система по п.1, в которой указанной сетью связи является сеть Интернет. 13. Система по п.1, в которой указанной сетью связи является система корпоративной локальной сети (интранет). 14. Система по п.1, в которой указанный сервер терминала выполнен в виде встроенной сетевой платы.