Кристаллография. 1973. Том 18, вып. 3 Кристаллизация аморфных пленок нитрида кремния при ионной бомбардировке с последующим отжигом
Кристаллография. 1973. Том 18, вып. 3 Кристаллизация аморфных пленок нитрида кремния при ионной бомбардировке с последующим отжигом
Библиографическое описание
Скопировать
Павлов, П.В.. Кристаллография. 1973. Том 18, вып. 3. Кристаллизация аморфных пленок нитрида кремния при ионной бомбардировке с последующим отжигом / Павлов П.В., Шитова Э.В., Зорин Е.И., Генкина Н.А.. — с. 609-613.
Детальная информация
Код документа в НЭБ
005894_000147_002192391
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Кристаллография. 1973. Том 18, вып. 3 Кристаллизация аморфных пленок нитрида кремния при ионной бомбардировке с последующим отжигом
Объем
с. 609-613
Ответственность
Павлов П.В., Шитова Э.В., Зорин Е.И., Генкина Н.А.
LDR
01017nab a2200277 c 4500
001
002192391
003
RuMoBEN
005
20240514115601.0
008
231124s1973 ru |||p|||||||||||||rus d
035
##
$a: (ELAR) [2023] 13435
$a: (ELAR) [2023] 13435
040
##
$a: RuMoBEN
$b: rus
$a: RuMoBEN
$b: rus
041
##
$a: rus
$a: rus
044
##
$a: ru
$a: ru
080
##
$a: 548.52
$2: ruudk
$a: 548.52
$2: ruudk
100
1#
$a: Павлов, П.В.
$a: Павлов, П.В.
700
1#
$a: Шитова, Э.В.
$a: Шитова, Э.В.
700
1#
$a: Зорин, Е.И.
$a: Зорин, Е.И.
700
1#
$a: Генкина, Н.А.
$a: Генкина, Н.А.
245
1#
$a: Кристаллизация аморфных пленок нитрида кремния при ионной бомбардировке с последующим отжигом
$c: Павлов П.В., Шитова Э.В., Зорин Е.И., Генкина Н.А.
$a: Кристаллизация аморфных пленок нитрида кремния при ионной бомбардировке с последующим отжигом
$c: Павлов П.В., Шитова Э.В., Зорин Е.И., Генкина Н.А.
300
##
$a: с. 609-613
$a: с. 609-613
773
##
$7: nnas
$t: Кристаллография. 1973. Том 18, вып. 3
$g: с. 609-613
$w: 000464533
$7: nnas
$t: Кристаллография. 1973. Том 18, вып. 3
$g: с. 609-613
$w: 000464533
850
##
$a: RuMoBEN
$a: RuMoBEN
856
11
$q: application/pdf
$u: https://viewer.benran.ru/ru/ben01002192391
$q: application/pdf
$u: https://viewer.benran.ru/ru/ben01002192391
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Кристаллография. 1973. Том 18, вып. 3 Кристаллизация аморфных пленок нитрида кремния при ионной бомбардировке с последующим отжигом » , автор — Павлов П.В.. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Библиотека по естественным наукам Российской академии наук (БЕН РАН)". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119991, Москва, ул. Знаменка, д. 11/11. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Кристаллография. 1973. Том 18, вып. 3 Кристаллизация аморфных пленок нитрида кремния при ионной бомбардировке с последующим отжигом » в удобной системе просмотра документов. Документ также доступен для скачивания в форматах: pdf, mrc.