Кристаллография. 1970. Том 15, вып. 4 О структуре пленок двуокиси кремния, полученных в высокочастотной плазме газового разряда
Кристаллография. 1970. Том 15, вып. 4 О структуре пленок двуокиси кремния, полученных в высокочастотной плазме газового разряда
Библиографическое описание
Скопировать
Павлов, П.В.. Кристаллография. 1970. Том 15, вып. 4. О структуре пленок двуокиси кремния, полученных в высокочастотной плазме газового разряда / Павлов П.В., Зорин Е.И., Шитова Э.В.. — с. 859-860.
Детальная информация
Код документа в НЭБ
005894_000147_002194138
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Кристаллография. 1970. Том 15, вып. 4 О структуре пленок двуокиси кремния, полученных в высокочастотной плазме газового разряда
Объем
с. 859-860
Ответственность
Павлов П.В., Зорин Е.И., Шитова Э.В.
LDR
00953nab a2200265 c 4500
001
002194138
003
RuMoBEN
005
20240514115637.0
008
231124s1970 ru |||p|||||||||||||rus d
035
##
$a: (ELAR) [2023] 21011
$a: (ELAR) [2023] 21011
040
##
$a: RuMoBEN
$b: rus
$a: RuMoBEN
$b: rus
041
##
$a: rus
$a: rus
044
##
$a: ru
$a: ru
080
##
$a: 548.74:539.27
$2: ruudk
$a: 548.74:539.27
$2: ruudk
100
1#
$a: Павлов, П.В.
$a: Павлов, П.В.
700
1#
$a: Зорин, Е.И.
$a: Зорин, Е.И.
700
1#
$a: Шитова, Э.В.
$a: Шитова, Э.В.
245
1#
$a: О структуре пленок двуокиси кремния, полученных в высокочастотной плазме газового разряда
$c: Павлов П.В., Зорин Е.И., Шитова Э.В.
$a: О структуре пленок двуокиси кремния, полученных в высокочастотной плазме газового разряда
$c: Павлов П.В., Зорин Е.И., Шитова Э.В.
300
##
$a: с. 859-860
$a: с. 859-860
773
##
$7: nnas
$t: Кристаллография. 1970. Том 15, вып. 4
$g: с. 859-860
$w: 000464553
$7: nnas
$t: Кристаллография. 1970. Том 15, вып. 4
$g: с. 859-860
$w: 000464553
850
##
$a: RuMoBEN
$a: RuMoBEN
856
11
$q: application/pdf
$u: https://viewer.benran.ru/ru/ben01002194138
$q: application/pdf
$u: https://viewer.benran.ru/ru/ben01002194138
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Кристаллография. 1970. Том 15, вып. 4 О структуре пленок двуокиси кремния, полученных в высокочастотной плазме газового разряда » , автор — Павлов П.В.. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Библиотека по естественным наукам Российской академии наук (БЕН РАН)". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119991, Москва, ул. Знаменка, д. 11/11. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Кристаллография. 1970. Том 15, вып. 4 О структуре пленок двуокиси кремния, полученных в высокочастотной плазме газового разряда » в удобной системе просмотра документов. Документ также доступен для скачивания в форматах: pdf, mrc.