Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.14, 05.02.08
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.14, 05.02.08
Пенза, 2007
Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.14, 05.02.08
Пенза, 2007
Библиографическое описание
Скопировать
Игонина, Татьяна Ивановна. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.14, 05.02.08 / Игонина Татьяна Ивановна; [Место защиты: Пенз. гос. ун-т]. — Пенза, 2007. — 22 с..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_003059473
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.11.14, 05.02.08
Место издания
Пенза
Год издания
2007
Объем
22 с.
Ответственность
Игонина Татьяна Ивановна; [Место защиты: Пенз. гос. ун-т]
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
01479nam a2200277 i 4500
001
003059473
003
RuMoRGB
005
20070705120000.0
008
070705s2007 ru |||| a |00 u rus d
035
##
$a: (RuMoRGB)DIS-0770554
$a: (RuMoRGB)DIS-0770554
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.11.14
$2: nsnr
$a: 05.11.14
$2: nsnr
072
#1
$a: 05.02.08
$2: nsnr
$a: 05.02.08
$2: nsnr
100
1#
$a: Игонина, Татьяна Ивановна
$a: Игонина, Татьяна Ивановна
245
##
$a: Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.14, 05.02.08
$c: Игонина Татьяна Ивановна; [Место защиты: Пенз. гос. ун-т]
$a: Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.14, 05.02.08
$c: Игонина Татьяна Ивановна; [Место защиты: Пенз. гос. ун-т]
260
##
$a: Пенза
$c: 2007
$a: Пенза
$c: 2007
300
##
$a: 22 с.
$a: 22 с.
650
#1
$a: Технология приборостроения
$2: nsnr
$a: Технология приборостроения
$2: nsnr
650
#1
$a: Технология машиностроения
$2: nsnr
$a: Технология машиностроения
$2: nsnr
720
1#
$a: Пензенский государственный университет
$a: Пензенский государственный университет
787
11
$w: 003321407
$i: Диссертация
$w: 003321407
$i: Диссертация
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01003000000/rsl01003059000/rsl01003059473/rsl01003059473.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01003000000/rsl01003059000/rsl01003059473/rsl01003059473.pdf
$y: Читать
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.11.14, 05.02.08 » , автор — Игонина Т.И.. Документ был опубликован в 2007 году. Место издания — Пенза. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.11.14, 05.02.08 » в удобной системе просмотра документов. Документ также доступен для скачивания в форматах: pdf.