Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.06 (2009) — Овчинников В.А. — читать диссертацию (автореферат) онлайн, скачать бесплатно PDF

Библиографическое описание

Скопировать

Овчинников, Вячеслав Алексеевич. Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Овчинников Вячеслав Алексеевич; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники]. — Москва, 2009. — 30 с..

Детальная информация

Код документа в НЭБ

000199_000009_003483892

Каталог

Авторефераты диссертаций

Автор(ы)

Овчинников В.А.

Заглавие

Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.06

Место издания

Москва

Год издания

2009

Объем

30 с.

Ответственность

Овчинников Вячеслав Алексеевич; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники]

ББК

З844.15-060.6-5,0

Язык

Русский

Еще

Ключевые слова

фотошаблоны - дефекты производства

Библиотека

Российская государственная библиотека (РГБ)

Еще

MARC-запись (MARC21)

LDR

02390nam a2200313 i 4500

001

003483892

003

RuMoRGB

005

20100423135533.0

008

091222s2009 ru |||| a |00 u rus d

017

##
$a: 10-1250А
$b: RuMoRKP

040

##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB

041

##
$a: rus

072

#1
$a: 05.27.06
$2: nsnr

084

##
$a: З844.15-060.6-5,0
$2: rubbk

100

1#
$a: Овчинников, Вячеслав Алексеевич

245

##
$a: Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
$c: Овчинников Вячеслав Алексеевич; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники]

260

##
$a: Москва
$c: 2009

300

##
$a: 30 с.

650

#1
$a: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$2: nsnr

650

#1
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микрорадиоэлектронная аппаратура -- Интегральные схемы -- Технология производства -- Технология печатных схем -- Оборудование
$2: rubbk

653

##
$a: фотошаблоны - дефекты производства

720

1#
$a: Московский государственный институт электронной техники

787

11
$w: 004562928
$i: Диссертация

852

##
$a: РГБ
$b: FB
$c: D13N
$j: 9 10-1/1236
$x: 90

856

11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01003000000/rsl01003483000/rsl01003483892/rsl01003483892.pdf
$y: Читать

Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.06 » , автор — Овчинников В.А.. Документ был опубликован в 2009 году. Место издания — Москва. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.06 » в удобной системе просмотра документов. Документ также доступен для скачивания в форматах: pdf.

Библиографическое описание

Детальная информация

Тематика

Другие книги автора

Другие документы из источника "Российская государственная библиотека (РГБ)" — Авторефераты диссертаций

MARC-запись (MARC21)