Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
2009
Год издания
Описание документа
Код документа в НЭБ
000199_000009_004562928
Автор
Овчинников В.А.
Заглавие
Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Год издания
2009
Библиотека
Российская государственная библиотека (РГБ)
Еще
Портал НЭБ предлагает вам читать онлайн в Электронном Читальном Зале (ЭЧЗ) диссертацию (автореферат) на тему «Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : : диссертация .. кандидата технических наук : 05.27.06» , автора Овчинников В.А. Документ был издан в 2009 году.
Выражаем благодарность библиотеке «Российская государственная библиотека (РГБ)» за предоставленный материал.
017
##
$a: д272-10
$b: RuMoRGB
$a: д272-10
$b: RuMoRGB
017
##
$a: 04201050467
$b: RuMoVNTIC
$a: 04201050467
$b: RuMoVNTIC
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.06
$2: nsnr
$a: 05.27.06
$2: nsnr
100
1#
$a: Овчинников, Вячеслав Алексеевич
$a: Овчинников, Вячеслав Алексеевич
245
##
$a: Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
$c: Овчинников Вячеслав Алексеевич; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники]
$a: Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
$c: Овчинников Вячеслав Алексеевич; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники]
260
##
$a: Москва
$c: 2009
$a: Москва
$c: 2009
300
##
$a: 242 с.
$b: ил.
$a: 242 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с. 174-181
$a: Библиогр.: с. 174-181
650
#1
$a: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$2: nsnr
$a: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$2: nsnr
720
1#
$a: Московский государственный институт электронной техники
$a: Московский государственный институт электронной техники
787
11
$w: 003483892
$i: Автореферат
$w: 003483892
$i: Автореферат
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$j: 61 10-5/13
$x: 81
$a: РГБ
$b: OD
$j: 61 10-5/13
$x: 81
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01004000000/rsl01004562000/rsl01004562928/rsl01004562928.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01004000000/rsl01004562000/rsl01004562928/rsl01004562928.pdf
$y: Читать
977
##
$a: dllocal
$b: dlrgb
$c: osk
$d: Отдел сканирования
$a: dllocal
$b: dlrgb
$c: osk
$d: Отдел сканирования
979
##
$a: disser
$b: Каталог диссертаций
$c: rgb
$a: disser
$b: Каталог диссертаций
$c: rgb
979
##
$a: dllocal
$a: dllocal
LKR
##
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 003483892
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 003483892
$m: Диссертация
$n: Автореферат