Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве автореферат диссертации на соискание ученой степени к. т. н. специальность 05.27.06 <Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники>

##
$9: 100

##
$a: RU
$b: 00-2144
$9: Летопись авторефератов диссертаций

##
$a: RU
$b: 2010-1250а
$9: 050аа

##
$a: 20100412d2009 u u0rusy0150 ca

##
$a: rus

##
$a: RU

##
$a: a dm |||||

1#
$a: Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве
$e: автореферат диссертации на соискание ученой степени к. т. н.
$e: специальность 05.27.06 <Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники>
$f: Овчинников Вячеслав Алексеевич
$g: [Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн.ун-т)]

##
$a: Москва
$d: 2009

##
$a: 30 с.
$c: ил.
$d: 21

##
$a: Библиогр.: c. 29-30 (17 назв.)

##
$a: 621.38
$v: 3
$z: rus

##
$a: 47
$2: rugasnti

##
$a: 32.85
$2: rubbk

##
$a: 05.27.06
$2: oksvnk

#1
$a: Овчинников
$b: В. А.
$g: Вячеслав Алексеевич
$4: 070

##
$a: RU
$b: RKP
$c: 20100412
$g: PSBO

#1
$a: RU
$b: RKP
$c: 20100412

#1
$a: RU
$b: NLR
$c: 20100517
$g: rcr

##
$u: https://vivaldi.nlr.ru/bd000288925/view

#1
$u: https://vivaldi.nlr.ru/bd000288925/cover

#1
$u: https://vivaldi.nlr.ru/bd000288925/text

1#
$a: Авторефераты

##
$a: bd000288925
$b: Текст. Автореферат диcсертации
$e: Авторефераты
$d: 20120210214056
$x: ARD11

##
$a: Г.И.