Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Москва
Место издания
2009
Год издания
Описание документа
Код документа в НЭБ
000199_000009_003483892
Каталог
Автор
Овчинников В.А.
Заглавие
Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Место издания
Москва
Год издания
2009
Объем
30 с.
Ответственность
Овчинников Вячеслав Алексеевич; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники]
ББК
З844.15-060.6-5,0
Ключевые слова
фотошаблоны - дефекты производства
Библиотека
Портал НЭБ предлагает вам скачать или читать онлайн диссертацию (автореферат) на тему «Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : : автореферат дис. .. кандидата технических наук : 05.27.06» ББК:З844.15-060.6-5,0, автора Овчинников В.А. Документ был издан в 2009 году. Содержит 30 с.
Выражаем благодарность библиотеке «Российская государственная библиотека (РГБ)» за предоставленный материал.
017
##
$a: 10-1250А
$b: RuMoRKP
$a: 10-1250А
$b: RuMoRKP
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.06
$2: nsnr
$a: 05.27.06
$2: nsnr
084
##
$a: З844.15-060.6-5,0
$2: rubbk
$a: З844.15-060.6-5,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Овчинников, Вячеслав Алексеевич
$a: Овчинников, Вячеслав Алексеевич
245
##
$a: Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
$c: Овчинников Вячеслав Алексеевич; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники]
$a: Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
$c: Овчинников Вячеслав Алексеевич; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники]
260
##
$a: Москва
$c: 2009
$a: Москва
$c: 2009
300
##
$a: 30 с.
$a: 30 с.
650
#1
$a: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$2: nsnr
$a: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$2: nsnr
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микрорадиоэлектронная аппаратура -- Интегральные схемы -- Технология производства -- Технология печатных схем -- Оборудование
$2: rubbk
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микрорадиоэлектронная аппаратура -- Интегральные схемы -- Технология производства -- Технология печатных схем -- Оборудование
$2: rubbk
653
##
$a: фотошаблоны - дефекты производства
$a: фотошаблоны - дефекты производства
720
1#
$a: Московский государственный институт электронной техники
$a: Московский государственный институт электронной техники
787
11
$w: 004562928
$i: Диссертация
$w: 004562928
$i: Диссертация
852
##
$a: РГБ
$b: FB
$j: 9 10-1/1236
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$j: 9 10-1/1236
$x: 90
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01003000000/rsl01003483000/rsl01003483892/rsl01003483892.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01003000000/rsl01003483000/rsl01003483892/rsl01003483892.pdf
$y: Читать
977
##
$a: dlopen
$b: dlrgb
$c: osk
$d: Отдел сканирования
$a: dlopen
$b: dlrgb
$c: osk
$d: Отдел сканирования
979
##
$a: autoref
$b: Каталог авторефератов диссертаций
$c: rgb
$a: autoref
$b: Каталог авторефератов диссертаций
$c: rgb
979
##
$a: dlopen
$a: dlopen