Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками
диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.07
диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.07
Санкт-Петербург, 2008
Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками
диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.07
Санкт-Петербург, 2008
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Библиографическое описание
Скопировать
Новиков, Александр Александрович. Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.07 / Новиков Александр Александрович; [Место защиты: С.-Петерб. гос. ун-т информац. технологий, механики и оптики]. — Санкт-Петербург, 2008. — 237 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_004177826
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками : диссертация . кандидата технических наук : 05.11.07
Место издания
Санкт-Петербург
Год издания
2008
Объем
237 с.
Ответственность
Новиков Александр Александрович; [Место защиты: С.-Петерб. гос. ун-т информац. технологий, механики и оптики]
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
01821nam a2200301 i 4500
001
004177826
003
RuMoRGB
005
20090216111545.0
008
081127s2008 ru |||| a |00 u rus d
017
##
$a: д3423-09
$b: RuMoRGB
$a: д3423-09
$b: RuMoRGB
017
##
$a: 04200902050
$b: RuMoVNTIC
$a: 04200902050
$b: RuMoVNTIC
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.11.07
$2: nsnr
$a: 05.11.07
$2: nsnr
100
1#
$a: Новиков, Александр Александрович
$a: Новиков, Александр Александрович
245
##
$a: Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.07
$c: Новиков Александр Александрович; [Место защиты: С.-Петерб. гос. ун-т информац. технологий, механики и оптики]
$a: Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.07
$c: Новиков Александр Александрович; [Место защиты: С.-Петерб. гос. ун-т информац. технологий, механики и оптики]
260
##
$a: Санкт-Петербург
$c: 2008
$a: Санкт-Петербург
$c: 2008
300
##
$a: 237 с.
$b: ил.
$a: 237 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с. 183-194
$a: Библиогр.: с. 183-194
650
#1
$a: Оптические и оптикоэлектронные приборы и комплексы
$2: nsnr
$a: Оптические и оптикоэлектронные приборы и комплексы
$2: nsnr
720
1#
$a: Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики
$a: Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики
787
11
$w: 003451586
$i: Автореферат
$w: 003451586
$i: Автореферат
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL04
$j: 61 09-5/668
$x: 39
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL04
$j: 61 09-5/668
$x: 39
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01004000000/rsl01004177000/rsl01004177826/rsl01004177826.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01004000000/rsl01004177000/rsl01004177826/rsl01004177826.pdf
$y: Читать
LKR
##
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 003451586
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 003451586
$m: Диссертация
$n: Автореферат
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками : диссертация . кандидата технических наук : 05.11.07 » , автор — Новиков А.А.. Документ был опубликован в 2008 году. Место издания — Санкт-Петербург. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками : диссертация . кандидата технических наук : 05.11.07 » в удобной системе просмотра документов.