Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве
диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Москва, 2009
Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве
диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Москва, 2009
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Библиографическое описание
Скопировать
Овчинников, Вячеслав Алексеевич. Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Овчинников Вячеслав Алексеевич; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники]. — Москва, 2009. — 242 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_004562928
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : диссертация . кандидата технических наук : 05.27.06
Место издания
Москва
Год издания
2009
Объем
242 с.
Ответственность
Овчинников Вячеслав Алексеевич; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники]
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
01940nam a2200301 i 4500
001
004562928
003
RuMoRGB
005
20100114110957.0
008
091222s2009 ru |||| a |00 u rus d
017
##
$a: д272-10
$b: RuMoRGB
$a: д272-10
$b: RuMoRGB
017
##
$a: 04201050467
$b: RuMoVNTIC
$a: 04201050467
$b: RuMoVNTIC
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.06
$2: nsnr
$a: 05.27.06
$2: nsnr
100
1#
$a: Овчинников, Вячеслав Алексеевич
$a: Овчинников, Вячеслав Алексеевич
245
##
$a: Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
$c: Овчинников Вячеслав Алексеевич; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники]
$a: Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
$c: Овчинников Вячеслав Алексеевич; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники]
260
##
$a: Москва
$c: 2009
$a: Москва
$c: 2009
300
##
$a: 242 с.
$b: ил.
$a: 242 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с. 174-181
$a: Библиогр.: с. 174-181
650
#1
$a: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$2: nsnr
$a: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$2: nsnr
720
1#
$a: Московский государственный институт электронной техники
$a: Московский государственный институт электронной техники
787
11
$w: 003483892
$i: Автореферат
$w: 003483892
$i: Автореферат
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL02
$j: 61 10-5/13
$x: 39
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL02
$j: 61 10-5/13
$x: 39
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01004000000/rsl01004562000/rsl01004562928/rsl01004562928.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01004000000/rsl01004562000/rsl01004562928/rsl01004562928.pdf
$y: Читать
LKR
##
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 003483892
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 003483892
$m: Диссертация
$n: Автореферат
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : диссертация . кандидата технических наук : 05.27.06 » , автор — Овчинников В.А.. Документ был опубликован в 2009 году. Место издания — Москва. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : диссертация . кандидата технических наук : 05.27.06 » в удобной системе просмотра документов.