Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"
Москва : Бином. Лаб. знаний, 2010
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"
Москва : Бином. Лаб. знаний, 2010
Библиографическое описание
Скопировать
Галперин, Вячеслав Александрович. Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях [Текст] : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника" / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова. — Москва : Бином. Лаб. знаний, 2010. — 283 с. : ил., табл. : 22 см — (Нанотехнологии).; ISBN 978-5-9963-0032-7.
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_004745939
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"
Место издания
Москва
Издательство
Год издания
2010
Объем
283 с.
Ответственность
В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова
Серия
ISBN
978-5-9963-0032-7
ББК
З844.15-060.14,0
Язык
Русский
Еще
Ключевые слова
плазменное травление, нанотехнологии
Библиотека
LDR
02135cam a2200325 i 4500
001
004745939
005
20120817144821.0
008
101018s2010 ru a 000 | rus|d
017
##
$a: 10-78202
$a: 10-78202
020
##
$a: 978-5-9963-0032-7
$a: 978-5-9963-0032-7
040
##
$a: RuMoRKP
$b: rus
$d: RuMoRGB
$e: rcr
$a: RuMoRKP
$b: rus
$d: RuMoRGB
$e: rcr
041
##
$a: rus
$a: rus
080
##
$a: 621.382.049.77(075.8)
$a: 621.382.049.77(075.8)
084
##
$a: З844.15-060.14,0
$a: З844.15-060.14,0
100
1#
$a: Галперин, Вячеслав Александрович
$a: Галперин, Вячеслав Александрович
245
##
$a: Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях
$b: учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"
$c: В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова
$h: [Текст] :
$a: Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях
$b: учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"
$c: В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова
$h: [Текст] :
260
##
$a: Москва
$b: Бином. Лаб. знаний
$c: 2010
$a: Москва
$b: Бином. Лаб. знаний
$c: 2010
300
##
$a: 283 с.
$b: ил., табл.
$c: 22 см
$a: 283 с.
$b: ил., табл.
$c: 22 см
490
##
$a: Нанотехнологии
$a: Нанотехнологии
504
##
$a: Библиогр.: с. 275-280
$a: Библиогр.: с. 275-280
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Технология производства -- Обработка электронная, лазерная, травление
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Технология производства -- Обработка электронная, лазерная, травление
650
#1
$a: Интегральные схемы
$x: Производство
$x: Плазмохимические методы
$a: Интегральные схемы
$x: Производство
$x: Плазмохимические методы
653
##
$a: плазменное травление
$a: плазменное травление
653
##
$a: нанотехнологии
$a: нанотехнологии
700
1#
$a: Данилкин, Евгений Владимирович
$a: Данилкин, Евгений Владимирович
700
1#
$a: Мочалов, Алексей Иванович
$a: Мочалов, Алексей Иванович
852
##
$a: РГБ
$b: FB
$j: 2 10-69/271
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$j: 2 10-69/271
$x: 90
852
##
$a: РГБ
$b: FB
$j: 2 10-69/272
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$j: 2 10-69/272
$x: 90
852
1#
$a: РГБ
$b: CPF
$c: A325
$h: З844/Г16
$p: 75345
$x: 14
$a: РГБ
$b: CPF
$c: A325
$h: З844/Г16
$p: 75345
$x: 14
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника" » , автор — Галперин В.А.. Документ был опубликован в 2010 году. Место издания — Москва. Издательство — Бином. Лаб. знаний. Информация о документе предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5.