Версия для слепых
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях

Год издания
Москва
Место издания

О произведении

Издательство
Ответственность
В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова
Язык
Русский
Библиотека
Российская государственная библиотека (РГБ)

Другие издания

Вы находитесь на новой версии портала Национальной Электронной Библиотеки. Если вы хотите воспользоваться старой версией, перейдите по ссылке .