Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"
Описание документа
Код документа в НЭБ
000199_000009_004745939
Каталог
Автор
Галперин В.А.
Заглавие
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"
Место издания
Москва
Издательство
Бином. Лаб. знаний
Год издания
2010
Объем
283 с.
Ответственность
В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова
Серия
Нанотехнологии
ISBN
978-5-9963-0032-7
ББК
З844.15-060.14,0
Язык
Русский
Еще
Ключевые слова
плазменное травление, нанотехнологии
Библиотека
017
##
$a: 10-78202
$a: 10-78202
020
##
$a: 978-5-9963-0032-7
$a: 978-5-9963-0032-7
040
##
$a: RuMoRKP
$b: rus
$e: rcr
$d: RuMoRGB
$a: RuMoRKP
$b: rus
$e: rcr
$d: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
080
##
$a: 621.382.049.77(075.8)
$a: 621.382.049.77(075.8)
084
##
$a: З844.15-060.14,0
$2: rubbk
$a: З844.15-060.14,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Галперин, Вячеслав Александрович
$a: Галперин, Вячеслав Александрович
245
##
$a: Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях
$h: [Текст] :
$b: учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"
$c: В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова
$a: Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях
$h: [Текст] :
$b: учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"
$c: В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова
260
##
$a: Москва
$b: Бином. Лаб. знаний
$c: 2010
$a: Москва
$b: Бином. Лаб. знаний
$c: 2010
300
##
$a: 283 с.
$b: ил., табл.
$c: 22 см
$a: 283 с.
$b: ил., табл.
$c: 22 см
490
##
$a: Нанотехнологии
$a: Нанотехнологии
504
##
$a: Библиогр.: с. 275-280
$a: Библиогр.: с. 275-280
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Технология производства -- Обработка электронная, лазерная, травление
$2: rubbk
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Технология производства -- Обработка электронная, лазерная, травление
$2: rubbk
650
#1
$2: nlr_sh
RU\NLR\AUTH\66481681
$a: Интегральные схемы
$x: Производство
$x: Плазмохимические методы
$2: nlr_sh
RU\NLR\AUTH\66481681
$a: Интегральные схемы
$x: Производство
$x: Плазмохимические методы
653
##
$a: плазменное травление
$a: плазменное травление
653
##
$a: нанотехнологии
$a: нанотехнологии
700
1#
$a: Данилкин, Евгений Владимирович
$a: Данилкин, Евгений Владимирович
700
1#
$a: Мочалов, Алексей Иванович
$a: Мочалов, Алексей Иванович
852
##
$a: РГБ
$b: FB
$j: 2 10-69/271
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$j: 2 10-69/271
$x: 90
852
##
$a: РГБ
$b: FB
$j: 2 10-69/272
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$j: 2 10-69/272
$x: 90
852
1#
$a: РГБ
$b: CPF
$c: A325
$h: З844/Г16
$p: 75345
$x: 14
$a: РГБ
$b: CPF
$c: A325
$h: З844/Г16
$p: 75345
$x: 14