Методы и приборы лазерной и спектральной эллипсометрии с бинарной модуляцией состояния поляризации : : диссертация ... доктора технических наук : 01.04.01
Методы и приборы лазерной и спектральной эллипсометрии с бинарной модуляцией состояния поляризации : : диссертация ... доктора технических наук : 01.04.01
2011
Год издания
Описание документа
Код документа в НЭБ
000199_000009_005086066
Автор
Ковалев В.И.
Заглавие
Методы и приборы лазерной и спектральной эллипсометрии с бинарной модуляцией состояния поляризации : : диссертация ... доктора технических наук : 01.04.01
Год издания
2011
Библиотека
Российская государственная библиотека (РГБ)
Еще
Портал НЭБ предлагает вам читать онлайн в Электронном Читальном Зале (ЭЧЗ) диссертацию (автореферат) на тему «Методы и приборы лазерной и спектральной эллипсометрии с бинарной модуляцией состояния поляризации : : диссертация .. доктора технических наук : 01.04.01» , автора Ковалев В.И. Документ был издан в 2011 году.
Выражаем благодарность библиотеке «Российская государственная библиотека (РГБ)» за предоставленный материал.
017
##
$a: д9955-13
$b: RuMoRGB
$a: д9955-13
$b: RuMoRGB
017
##
$a: 05201100471
$b: RuMoVNTIC
$a: 05201100471
$b: RuMoVNTIC
035
##
$a: (RuMoVNTIC)-05201100471
$a: (RuMoVNTIC)-05201100471
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 01.04.01
$2: nsnr
$a: 01.04.01
$2: nsnr
100
1#
$a: Ковалев, Виталий Иванович
$a: Ковалев, Виталий Иванович
245
##
$a: Методы и приборы лазерной и спектральной эллипсометрии с бинарной модуляцией состояния поляризации :
$b: диссертация ... доктора технических наук : 01.04.01
$c: Ковалев Виталий Иванович; [Место защиты: Институт радиотехники и электроники РАН]
$a: Методы и приборы лазерной и спектральной эллипсометрии с бинарной модуляцией состояния поляризации :
$b: диссертация ... доктора технических наук : 01.04.01
$c: Ковалев Виталий Иванович; [Место защиты: Институт радиотехники и электроники РАН]
260
##
$a: Фрязино
$c: 2011
$a: Фрязино
$c: 2011
300
##
$a: 250 с.
$b: ил.
$a: 250 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с. 221-248
$a: Библиогр.: с. 221-248
650
#1
$a: Приборы и методы экспериментальной физики
$2: nsnr
$a: Приборы и методы экспериментальной физики
$2: nsnr
720
1#
$a: Институт радиотехники и электроники РАН
$a: Институт радиотехники и электроники РАН
787
11
$w: 004851851
$i: Автореферат
$w: 004851851
$i: Автореферат
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$j: 71 13-5/240
$x: 81
$a: РГБ
$b: OD
$j: 71 13-5/240
$x: 81
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01005000000/rsl01005086000/rsl01005086066/rsl01005086066.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01005000000/rsl01005086000/rsl01005086066/rsl01005086066.pdf
$y: Читать
977
##
$a: dllocal
$b: dlrgb
$c: osk
$d: Отдел сканирования
$a: dllocal
$b: dlrgb
$c: osk
$d: Отдел сканирования
979
##
$a: disser
$b: Каталог диссертаций
$c: rgb
$a: disser
$b: Каталог диссертаций
$c: rgb
979
##
$a: dllocal
$a: dllocal
LKR
##
$a: PAR
$b: 004851851
$l: RSL01
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$b: 004851851
$l: RSL01
$m: Диссертация
$n: Автореферат