Методы и приборы лазерной и спектральной эллипсометрии с бинарной модуляцией состояния поляризации автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук специальность 01.04.01 <Приборы и методы экспериментальной физики>
Методы и приборы лазерной и спектральной эллипсометрии с бинарной модуляцией состояния поляризации автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук специальность 01.04.01 <Приборы и методы экспериментальной физики>
Методы и приборы лазерной и спектральной эллипсометрии с бинарной модуляцией состояния поляризации автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук специальность 01.04.01 <Приборы и методы экспериментальной физики>
Методы и приборы лазерной и спектральной эллипсометрии с бинарной модуляцией состояния поляризации : : автореферат дис. ... доктора технических наук : 01.04.01
1# $a: Методы и приборы лазерной и спектральной эллипсометрии с бинарной модуляцией состояния поляризации $e: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук $e: специальность 01.04.01 <Приборы и методы экспериментальной физики> $f: Ковалев Виталий Иванович $g: [Ин-т радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН]
210
## $a: Фрязино (Моск. обл.) $d: 2011
215
## $a: 33 с. $c: ил. $d: 21
320
## $a: Библиогр.: с. 27-33 (30 назв.)
675
## $a: 681.7 $v: 3 $z: rus
686
## $a: 81.37 $2: rugasnti
686
## $a: 34.96 $2: rubbk
686
## $a: 01.04.01 $2: oksvnk
700
#1 $a: Ковалев $b: В. И. $g: Виталий Иванович $4: 070