Получение кремниевых автоэпитаксиальных слоев для силовых полупроводниковых приборов : Автореферат дис. на соискание ученой степени кандидата технических наук
Москва : б. и., 1967
Получение кремниевых автоэпитаксиальных слоев для силовых полупроводниковых приборов : Автореферат дис. на соискание ученой степени кандидата технических наук
Москва : б. и., 1967
Библиографическое описание
Скопировать
Тихонов, Ю. Н.. Получение кремниевых автоэпитаксиальных слоев для силовых полупроводниковых приборов [Текст] : Автореферат дис. на соискание ученой степени кандидата технических наук / Моск. ин-т стали и сплавов. — Москва : [б. и.], 1967. — 15 с..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_006485421
Автор
Заглавие
Получение кремниевых автоэпитаксиальных слоев для силовых полупроводниковых приборов : Автореферат дис. на соискание ученой степени кандидата технических наук
Место издания
Москва
Издательство
Год издания
1967
Объем
15 с.
Ответственность
Моск. ин-т стали и сплавов
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
01038nam a22002292i 4500
001
006485421
003
ELAR
005
20121029143945.6
008
121029s1967 ru ||||| |||||||| ||rus d
017
##
$a: 67-42882
$b: RuMoRKP
$a: 67-42882
$b: RuMoRKP
035
##
$a: (RuMoELAR)1946-68-900392
$a: (RuMoELAR)1946-68-900392
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: ELAR
$e: rcr
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: ELAR
$e: rcr
041
##
$a: rus
$a: rus
044
##
$a: ru
$a: ru
100
1#
$a: Тихонов, Ю. Н.
$a: Тихонов, Ю. Н.
245
##
$a: Получение кремниевых автоэпитаксиальных слоев для силовых полупроводниковых приборов
$h: [Текст] :
$b: Автореферат дис. на соискание ученой степени кандидата технических наук
$c: Моск. ин-т стали и сплавов
$a: Получение кремниевых автоэпитаксиальных слоев для силовых полупроводниковых приборов
$h: [Текст] :
$b: Автореферат дис. на соискание ученой степени кандидата технических наук
$c: Моск. ин-т стали и сплавов
260
##
$a: Москва
$b: [б. и.]
$c: 1967
$a: Москва
$b: [б. и.]
$c: 1967
300
##
$a: 15 с.
$a: 15 с.
787
11
$w: 010390125
$i: Диссертация
$w: 010390125
$i: Диссертация
852
1#
$a: РГБ
$b: FB
$c: D13S
$j: Др 145/1486
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$c: D13S
$j: Др 145/1486
$x: 90
852
1#
$a: РГБ
$b: FBKHM
$c: HMK
$j: Др 145/1487
$x: 93
$a: РГБ
$b: FBKHM
$c: HMK
$j: Др 145/1487
$x: 93