Исследование и разработка методов формирования устройств наноэлектроники с применением технологии наноимпринт литографии : : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
Исследование и разработка методов формирования устройств наноэлектроники с применением технологии наноимпринт литографии : : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Москва
Место издания
2014
Год издания
Описание документа
Код документа в НЭБ
000199_000009_007561694
Каталог
Автор
Зайцев, Алексей Александрович
Заглавие
Исследование и разработка методов формирования устройств наноэлектроники с применением технологии наноимпринт литографии : : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
Место издания
Москва
Год издания
2014
Объем
125 с.
Ответственность
Зайцев Алексей Александрович; [Место защиты: Нац. исслед. ун-т МИЭТ]
Библиотека
Портал НЭБ предлагает вам читать онлайн в Электронном Читальном Зале (ЭЧЗ) диссертацию (автореферат) на тему «Исследование и разработка методов формирования устройств наноэлектроники с применением технологии наноимпринт литографии : : диссертация .. кандидата технических наук : 05.27.01» , автора Зайцев, Алексей Александрович Документ был издан в 2014 году. Содержит 125 с.
Выражаем благодарность библиотеке «Российская государственная библиотека (РГБ)» за предоставленный материал.
017
##
$a: д11842-14
$b: RuMoRGB
$a: д11842-14
$b: RuMoRGB
017
##
$a: 04201460509
$b: RuMoVNTIC
$a: 04201460509
$b: RuMoVNTIC
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.01
$2: nsnr
$a: 05.27.01
$2: nsnr
100
1#
$a: Зайцев, Алексей Александрович
$a: Зайцев, Алексей Александрович
245
##
$a: Исследование и разработка методов формирования устройств наноэлектроники с применением технологии наноимпринт литографии :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
$c: Зайцев Алексей Александрович; [Место защиты: Нац. исслед. ун-т МИЭТ]
$a: Исследование и разработка методов формирования устройств наноэлектроники с применением технологии наноимпринт литографии :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
$c: Зайцев Алексей Александрович; [Место защиты: Нац. исслед. ун-т МИЭТ]
260
##
$a: Москва
$c: 2014
$a: Москва
$c: 2014
300
##
$a: 125 с.
$b: ил.
$a: 125 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с. 112-122
$a: Библиогр.: с. 112-122
650
#1
$a: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
$2: nsnr
$a: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
$2: nsnr
787
11
$w: 005551910
$i: Автореферат
$w: 005551910
$i: Автореферат
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$j: 61 14-5/2755
$x: 81
$a: РГБ
$b: OD
$j: 61 14-5/2755
$x: 81
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01007000000/rsl01007561000/rsl01007561694/rsl01007561694.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01007000000/rsl01007561000/rsl01007561694/rsl01007561694.pdf
$y: Читать
977
##
$a: dllocal
$b: dlrgb
$c: osk
$d: Отдел сканирования
$a: dllocal
$b: dlrgb
$c: osk
$d: Отдел сканирования
979
##
$a: disser
$b: Каталог диссертаций
$c: rgb
$a: disser
$b: Каталог диссертаций
$c: rgb
979
##
$a: dllocal
$a: dllocal
LKR
##
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 005551910
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 005551910
$m: Диссертация
$n: Автореферат