Данный документ доступен исключительно в читальных залах Российской государственной библиотеки
LDR
01018nab a2200241 ic4500
008
230325e20230401ru 0 rus|d
017
##
$a: ЖЛ-П-23-022043
$b: RuMoRGB
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$e: rcr
245
##
$a: 2023, Т. 52, № 2
300
##
$a: [2], 87-164 с.
$b: ил., табл.
336
##
$a: Текст (визуальный)
337
##
$a: непосредственный
773
11
$7: nnas
$t: Микроэлектроника : журнал
$d: Москва
$g: 2023, Т. 52, № 2
$w: 002415867
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01011000000/rsl01011756000/rsl01011756857/rsl01011756857.pdf
$y: Читать
LKR
##
$a: ANA
$b: 011668746
$l: RSL01
$y: 2023
$v: 52
$i: 2
$m: 2023, Т. 52, № 2
$n: Микроэлектроника : журнал : Выпуски за 2023 год
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Микроэлектроника : журнал 2023, Т. 52, № 2 » Документ был опубликован в 2023 году. Документ размещен в каталоге НЭБ 2023-04-01 поступления в рубрике: . Информация о документе предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5.