Исследование и разработка щелевого реактора с удлиненным подложкодержателем для эпитаксиального наращивания кремния на одиночных подложках автореф. дис. на соиск. учен. степ. к. т. н. специальность 05.27.06 <Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники>

##
$9: 100

##
$a: RU
$b: 20-18989
$9: Летопись авторефератов диссертаций

##
$a: RU
$b: 2012-11205а
$9: 449аа

##
$a: 20120904d2012 u u0rusy0150 ca

##
$a: rus

##
$a: RU

##
$a: a dm |||||

1#
$a: Исследование и разработка щелевого реактора с удлиненным подложкодержателем для эпитаксиального наращивания кремния на одиночных подложках
$e: автореф. дис. на соиск. учен. степ. к. т. н.
$e: специальность 05.27.06 <Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники>
$f: Кравченко Анатолий Анатольевич
$g: [МИЭТ]

##
$a: Москва
$d: 2012

##
$a: 25 с.
$c: ил.
$d: 21

##
$a: Библиогр.: с. 24-25 (12 назв.)

##
$a: 621.38
$v: 3
$z: rus

##
$a: 47
$2: rugasnti

##
$a: 32.85
$2: rubbk

##
$a: 05.27.06
$2: oksvnk

#1
$a: Кравченко
$b: А. А.
$g: Анатолий Анатольевич
$4: 070

##
$a: RU
$b: RKP
$c: 20120904
$g: PSBO

#1
$a: RU
$b: RKP
$c: 20120904

#1
$a: RU
$b: NLR
$c: 20130327
$g: rcr

##
$u: https://vivaldi.nlr.ru/bd000332606/view

#1
$u: https://vivaldi.nlr.ru/bd000332606/cover

#1
$u: https://vivaldi.nlr.ru/bd000332606/text

1#
$a: Авторефераты

##
$a: bd000332606
$b: Текст. Автореферат диcсертации
$e: Авторефераты
$d: 20131103214033
$x: ARD11

##
$a: К.О.