Разработка и исследование технологических основ процесса фотонностимулированного локального анодного окисления наноструктур на основе Si/SiO2/Ti : : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
Разработка и исследование технологических основ процесса фотонностимулированного локального анодного окисления наноструктур на основе Si/SiO2/Ti : : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
Таганрог
Место издания
2008
Год издания
Описание документа
Код документа в НЭБ
000199_000009_003445113
Каталог
Автор
Смирнов В.А.
Заглавие
Разработка и исследование технологических основ процесса фотонностимулированного локального анодного окисления наноструктур на основе Si/SiO2/Ti : : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
Место издания
Таганрог
Год издания
2008
Объем
23 с.
Ответственность
Смирнов Владимир Александрович; [Место защиты: Юж. федер. ун-т]
ББК
З844.19-060.6-1с,0
Ключевые слова
фотонностимулированное локальное анодное окисление, наноразмерные структуры
Библиотека
Портал НЭБ предлагает вам скачать или читать онлайн диссертацию (автореферат) на тему «Разработка и исследование технологических основ процесса фотонностимулированного локального анодного окисления наноструктур на основе Si/SiO2/Ti : : автореферат дис. .. кандидата технических наук : 05.27.01» ББК:З844.19-060.6-1с,0, автора Смирнов В.А. Документ был издан в 2008 году. Содержит 23 с.
Выражаем благодарность библиотеке «Российская государственная библиотека (РГБ)» за предоставленный материал.
017
##
$a: 08-9017А
$b: RuMoRKP
$a: 08-9017А
$b: RuMoRKP
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.01
$2: nsnr
$a: 05.27.01
$2: nsnr
084
##
$a: З844.19-060.6-1с,0
$2: rubbk
$a: З844.19-060.6-1с,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Смирнов, Владимир Александрович
$a: Смирнов, Владимир Александрович
245
##
$a: Разработка и исследование технологических основ процесса фотонностимулированного локального анодного окисления наноструктур на основе Si/SiO2/Ti :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
$c: Смирнов Владимир Александрович; [Место защиты: Юж. федер. ун-т]
$a: Разработка и исследование технологических основ процесса фотонностимулированного локального анодного окисления наноструктур на основе Si/SiO2/Ti :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
$c: Смирнов Владимир Александрович; [Место защиты: Юж. федер. ун-т]
260
##
$a: Таганрог
$c: 2008
$a: Таганрог
$c: 2008
300
##
$a: 23 с.
$a: 23 с.
650
#1
$a: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
$2: nsnr
$a: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
$2: nsnr
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Технология печатных схем -- Теория. Исследование -- Методы исследований
$2: rubbk
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Технология печатных схем -- Теория. Исследование -- Методы исследований
$2: rubbk
653
##
$a: фотонностимулированное локальное анодное окисление
$a: фотонностимулированное локальное анодное окисление
653
##
$a: наноразмерные структуры
$a: наноразмерные структуры
720
1#
$a: Южный федеральный университет
$a: Южный федеральный университет
787
11
$w: 004101962
$i: Диссертация
$w: 004101962
$i: Диссертация
852
##
$a: РГБ
$b: FB
$j: 9 08-3/539
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$j: 9 08-3/539
$x: 90
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01003000000/rsl01003445000/rsl01003445113/rsl01003445113.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01003000000/rsl01003445000/rsl01003445113/rsl01003445113.pdf
$y: Читать
977
##
$a: dlopen
$b: dlrgb
$c: osk
$d: Отдел сканирования
$a: dlopen
$b: dlrgb
$c: osk
$d: Отдел сканирования
979
##
$a: autoref
$b: Каталог авторефератов диссертаций
$c: rgb
$a: autoref
$b: Каталог авторефератов диссертаций
$c: rgb
979
##
$a: dlopen
$a: dlopen