Повышение качества технологической среды сверхвысоковакуумного оборудования с алмазоподобными покрытиями трибологического назначения : : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Повышение качества технологической среды сверхвысоковакуумного оборудования с алмазоподобными покрытиями трибологического назначения : : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Москва
Место издания
2009
Год издания
Описание документа
Код документа в НЭБ
000199_000009_003482208
Каталог
Автор
Русанов А.В.
Заглавие
Повышение качества технологической среды сверхвысоковакуумного оборудования с алмазоподобными покрытиями трибологического назначения : : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Место издания
Москва
Год издания
2009
Объем
16 с.
Ответственность
Русанов Антон Викторович; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана]
ББК
З85-060.8-5,0
Ключевые слова
алмазоподобные покрытия - трибологические свойства
Библиотека
Портал НЭБ предлагает вам скачать или читать онлайн диссертацию (автореферат) на тему «Повышение качества технологической среды сверхвысоковакуумного оборудования с алмазоподобными покрытиями трибологического назначения : : автореферат дис. .. кандидата технических наук : 05.27.06» ББК:З85-060.8-5,0, автора Русанов А.В. Документ был издан в 2009 году. Содержит 16 с.
Выражаем благодарность библиотеке «Российская государственная библиотека (РГБ)» за предоставленный материал.
017
##
$a: 09-22393А
$b: RuMoRKP
$a: 09-22393А
$b: RuMoRKP
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.06
$2: nsnr
$a: 05.27.06
$2: nsnr
084
##
$a: З85-060.8-5,0
$2: rubbk
$a: З85-060.8-5,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Русанов, Антон Викторович
$a: Русанов, Антон Викторович
245
##
$a: Повышение качества технологической среды сверхвысоковакуумного оборудования с алмазоподобными покрытиями трибологического назначения :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
$c: Русанов Антон Викторович; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана]
$a: Повышение качества технологической среды сверхвысоковакуумного оборудования с алмазоподобными покрытиями трибологического назначения :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
$c: Русанов Антон Викторович; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана]
260
##
$a: Москва
$c: 2009
$a: Москва
$c: 2009
300
##
$a: 16 с.
$a: 16 с.
650
#1
$a: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$2: nsnr
$a: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$2: nsnr
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Электроника. Электронные приборы -- Технология производства -- Технология сборки -- Откачка, тренировка, заварка арматуры в баллон -- Оборудование
$2: rubbk
$a: Радиоэлектроника -- Электроника. Электронные приборы -- Технология производства -- Технология сборки -- Откачка, тренировка, заварка арматуры в баллон -- Оборудование
$2: rubbk
653
##
$a: алмазоподобные покрытия - трибологические свойства
$a: алмазоподобные покрытия - трибологические свойства
720
1#
$a: Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана
$a: Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана
787
11
$w: 004480040
$i: Диссертация
$w: 004480040
$i: Диссертация
852
##
$a: РГБ
$b: FB
$j: 9 09-6/1086
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$j: 9 09-6/1086
$x: 90
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01003000000/rsl01003482000/rsl01003482208/rsl01003482208.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01003000000/rsl01003482000/rsl01003482208/rsl01003482208.pdf
$y: Читать
977
##
$a: dlopen
$b: dlrgb
$c: osk
$d: Отдел сканирования
$a: dlopen
$b: dlrgb
$c: osk
$d: Отдел сканирования
979
##
$a: autoref
$b: Каталог авторефератов диссертаций
$c: rgb
$a: autoref
$b: Каталог авторефератов диссертаций
$c: rgb
979
##
$a: dlopen
$a: dlopen