Повышение качества технологической среды сверхвысоковакуумного оборудования с алмазоподобными покрытиями трибологического назначения : : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Повышение качества технологической среды сверхвысоковакуумного оборудования с алмазоподобными покрытиями трибологического назначения : : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Москва
Место издания
2009
Год издания
Описание документа
Код документа в НЭБ
000199_000009_004480040
Каталог
Автор
Русанов А.В.
Заглавие
Повышение качества технологической среды сверхвысоковакуумного оборудования с алмазоподобными покрытиями трибологического назначения : : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Место издания
Москва
Год издания
2009
Объем
159 с.
Ответственность
Русанов Антон Викторович; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана]
Библиотека
Портал НЭБ предлагает вам читать онлайн в Электронном Читальном Зале (ЭЧЗ) диссертацию (автореферат) на тему «Повышение качества технологической среды сверхвысоковакуумного оборудования с алмазоподобными покрытиями трибологического назначения : : диссертация .. кандидата технических наук : 05.27.06» , автора Русанов А.В. Документ был издан в 2009 году. Содержит 159 с.
Выражаем благодарность библиотеке «Российская государственная библиотека (РГБ)» за предоставленный материал.
017
##
$a: д22438-09
$b: RuMoRGB
$a: д22438-09
$b: RuMoRGB
017
##
$a: 04200961384
$b: RuMoVNTIC
$a: 04200961384
$b: RuMoVNTIC
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.06
$2: nsnr
$a: 05.27.06
$2: nsnr
100
1#
$a: Русанов, Антон Викторович
$a: Русанов, Антон Викторович
245
##
$a: Повышение качества технологической среды сверхвысоковакуумного оборудования с алмазоподобными покрытиями трибологического назначения :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
$c: Русанов Антон Викторович; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана]
$a: Повышение качества технологической среды сверхвысоковакуумного оборудования с алмазоподобными покрытиями трибологического назначения :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
$c: Русанов Антон Викторович; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана]
260
##
$a: Москва
$c: 2009
$a: Москва
$c: 2009
300
##
$a: 159 с.
$b: ил.
$a: 159 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с. 147-159
$a: Библиогр.: с. 147-159
650
#1
$a: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$2: nsnr
$a: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$2: nsnr
720
1#
$a: Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана
$a: Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана
787
11
$w: 003482208
$i: Автореферат
$w: 003482208
$i: Автореферат
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$j: 61 09-5/3523
$x: 81
$a: РГБ
$b: OD
$j: 61 09-5/3523
$x: 81
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01004000000/rsl01004480000/rsl01004480040/rsl01004480040.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01004000000/rsl01004480000/rsl01004480040/rsl01004480040.pdf
$y: Читать
977
##
$a: dllocal
$b: dlrgb
$c: osk
$d: Отдел сканирования
$a: dllocal
$b: dlrgb
$c: osk
$d: Отдел сканирования
979
##
$a: disser
$b: Каталог диссертаций
$c: rgb
$a: disser
$b: Каталог диссертаций
$c: rgb
979
##
$a: dllocal
$a: dllocal
LKR
##
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 003482208
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 003482208
$m: Диссертация
$n: Автореферат