Повышение качества технологической среды сверхвысоковакуумного оборудования с алмазоподобными покрытиями трибологического назначения автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук специальность 05.27.06 <Технология и оборудование для пр-ва полупроводников, материалов и приборов электрон. техники>
Повышение качества технологической среды сверхвысоковакуумного оборудования с алмазоподобными покрытиями трибологического назначения автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук специальность 05.27.06 <Технология и оборудование для пр-ва полупроводников, материалов и приборов электрон. техники>
Повышение качества технологической среды сверхвысоковакуумного оборудования с алмазоподобными покрытиями трибологического назначения автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук специальность 05.27.06 <Технология и оборудование для пр-ва полупроводников, материалов и приборов электрон. техники>
1# $a: Повышение качества технологической среды сверхвысоковакуумного оборудования с алмазоподобными покрытиями трибологического назначения $e: автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e: специальность 05.27.06 <Технология и оборудование для пр-ва полупроводников, материалов и приборов электрон. техники> $f: Русанов Антон Викторович $g: [Моск. гос. техн. ун-т им. Н. Э. Баумана]
210
## $a: Москва $d: 2009
215
## $a: 16 с. $c: ил. $d: 21
320
## $a: Библиогр.: с. 15-16 (12 назв.)
325
## $a: Копия доступна в Электрон. б-ке РНБ
675
## $a: 621.38 $v: 3 $z: rus
686
## $a: 47 $2: rugasnti
686
## $a: 32.85 $2: rubbk
686
## $a: 05.27.06 $2: oksvnk
700
#1 $a: Русанов $b: А. В. $g: Антон Викторович $4: 070