Исследование и разработка щелевого реактора с удлиненным подложкодержателем для эпитаксиального наращивания кремния на одиночных подложках : : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Исследование и разработка щелевого реактора с удлиненным подложкодержателем для эпитаксиального наращивания кремния на одиночных подложках : : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Москва
Место издания
2012
Год издания
Описание документа
Код документа в НЭБ
000199_000009_005019334
Каталог
Автор
Кравченко А.А.
Заглавие
Исследование и разработка щелевого реактора с удлиненным подложкодержателем для эпитаксиального наращивания кремния на одиночных подложках : : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Место издания
Москва
Год издания
2012
Объем
25 с.
Ответственность
Кравченко Анатолий Анатольевич; [Место защиты: Нац. исслед. ун-т МИЭТ]
ББК
З843.322.408-5,0
Ключевые слова
нанесение кремния на подложку
Библиотека
Портал НЭБ предлагает вам скачать или читать онлайн диссертацию (автореферат) на тему «Исследование и разработка щелевого реактора с удлиненным подложкодержателем для эпитаксиального наращивания кремния на одиночных подложках : : автореферат дис. .. кандидата технических наук : 05.27.06» ББК:З843.322.408-5,0, автора Кравченко А.А. Документ был издан в 2012 году. Содержит 25 с.
Выражаем благодарность библиотеке «Российская государственная библиотека (РГБ)» за предоставленный материал.
017
##
$a: 12-11205А
$a: 12-11205А
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.06
$2: nsnr
$a: 05.27.06
$2: nsnr
084
##
$a: З843.322.408-5,0
$2: rubbk
$a: З843.322.408-5,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Кравченко, Анатолий Анатольевич
$a: Кравченко, Анатолий Анатольевич
245
##
$a: Исследование и разработка щелевого реактора с удлиненным подложкодержателем для эпитаксиального наращивания кремния на одиночных подложках :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
$c: Кравченко Анатолий Анатольевич; [Место защиты: Нац. исслед. ун-т МИЭТ]
$a: Исследование и разработка щелевого реактора с удлиненным подложкодержателем для эпитаксиального наращивания кремния на одиночных подложках :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
$c: Кравченко Анатолий Анатольевич; [Место защиты: Нац. исслед. ун-т МИЭТ]
260
##
$a: Москва
$c: 2012
$a: Москва
$c: 2012
300
##
$a: 25 с.
$a: 25 с.
650
#1
$a: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$2: nsnr
$a: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$2: nsnr
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиотехнические материалы и изделия -- Полупроводниковые материалы и изделия -- Кремний -- Технология производства -- Оборудование
$2: rubbk
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиотехнические материалы и изделия -- Полупроводниковые материалы и изделия -- Кремний -- Технология производства -- Оборудование
$2: rubbk
653
##
$a: нанесение кремния на подложку
$a: нанесение кремния на подложку
787
11
$w: 005467932
$i: Диссертация
$w: 005467932
$i: Диссертация
852
##
$a: РГБ
$b: FB
$j: 9 12-3/1078
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$j: 9 12-3/1078
$x: 90
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01005000000/rsl01005019000/rsl01005019334/rsl01005019334.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01005000000/rsl01005019000/rsl01005019334/rsl01005019334.pdf
$y: Читать
977
##
$a: dlopen
$b: dlrgb
$c: osk
$d: Отдел сканирования
$a: dlopen
$b: dlrgb
$c: osk
$d: Отдел сканирования
979
##
$a: autoref
$b: Каталог авторефератов диссертаций
$c: rgb
$a: autoref
$b: Каталог авторефератов диссертаций
$c: rgb
979
##
$a: dlopen
$a: dlopen